平岩 篤
ヒライワ アツシ (Atsushi Hiraiwa)
更新日: 2020/09/01
基本情報
学歴
4-
- 1975年
-
- 1973年
-
- 1973年
委員歴
2-
2011年11月 - 2014年3月
MISC
53-
J. Appl. Phys. 114(3) 034506 2013年
-
Journal of Applied Physics 114(13) 134501 2013年
-
J. Appl. Phys. 114(3) 034506 2013年
-
Journal of Applied Physics 114(13) 134501 2013年
-
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 112(12) 124504 2012年12月
-
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 112(12) 124504 2012年12月
-
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 11(4) 043010 2012年10月
-
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 11(4) 043010 2012年10月
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50(8) 086502 2011年8月
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50(8) 086502 2011年8月
-
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 10(3) 033008 2011年7月
-
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 10(3) 033008 2011年7月
-
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES 58(6) 1672-1680 2011年6月
-
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES 58(6) 1672-1680 2011年6月
-
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 10(2) 023010 2011年4月
-
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 10(2) 023010 2011年4月
-
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES 58(3) 650-657 2011年3月
-
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES 58(3) 650-657 2011年3月
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50(1) 016602 2011年1月
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50(1) 016602 2011年1月
講演・口頭発表等
13-
International Conference on Diamond and Carbon Materials 2012 2012年
-
NGLワークショップ2011 2011年
-
NGL 2011 2011年
-
International Reliability Physics Symposium 2006 2006年
-
International Reliability Physics Symposium 2003 2003年
-
1998 International Electron Device Meetings 1998年
-
リアライズ社、半導体プロセスセミナー「クリーンルーム内の化学汚染とケミカルフィルタによるその対策」 1997年
-
リアライズ社、半導体プロセスセミナー「半導体プロセス環境における化学汚染とその対策」 1997年
-
サイエンスフォーラム社、「ウェハ表面欠陥の検出・低減策と歩留まり向上の新しいアプローチ」 1997年