2014年3月 超精密加工と表面科学－原子レベルの生産技術－ 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会 担当区分 分担執筆 担当範囲 第４部 表面計測の新手法 第１章 形状計測 3．点光源回折球面波干渉 出版者・発行元 大阪大学出版会
