特許権 表面欠陥自動検出装置および検査法 章 忠, 三宅哲夫, 今村 孝 出願番号 特願2007-147573 出願日 2007年6月4日 特許番号/登録番号 特許第5228157号 登録日 発行日 2013年3月29日
