森田 英毅

Thermal Elastic-Plastic Analysis on Internal Processing Phenomena of Single-Crystal Silicon by Nanosecond Laser 

Proceedings of the 7th Laser Precision Microfabrication, (2006.5) 2006年  

ナノ秒レーザによる単結晶シリコンの内部加工現象の解析 

溶接学会全国大会講演概要第78集234(2006-4)110 110 2006年  

単結晶シリコン内部へのナノ秒レーザによる加工変質層形成機構の解析 

2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集 (2006.3) 2006年  

ガラスのレーザスクライブにおける３次元熱応力解析 

日本機械学会論文集C編 2006年  

透過性ナノ 秒レーザによるシリコンの内部改質層形成機構 

日本機械学会第6回生産加工・ 工作機械部門講演会講演論文集, (2006-11). 2006年  

Analysis of Modified Layer Formation into Silicon Wafer by Permeable Nanosecond Laser 

Proceedings of the 25th International Congress on Application of Laser and Electro-Optics 2006 (ICALEO2006), Laser Microfabricaion Conference, CD-ROM, (2006-10). 2006年  

Internal modified-layer formation mechanism into silicon with nano second laser 

Journal of Achievment in Materials and Manufacturing Engineering, Vol.17(2006)381-384 2006年  

The Mechanism of Semiconductor Wafer Dicing by Stealth Dicing Technology 

Proceedings of the 7th Laser Precision Microfabrication 2006年  

ステルスダイシングにおける内部改質層形成機構の解析 

レーザ加工学会講演会講演論文集 2006.6 2006年  

シリコン単結晶のパルスNd:YAGレーザによる内部加工現象の熱弾塑性解析 

2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 E80(2005.9)419 2005年  

脆性材料の熱応力による割断加工の可能性 

日本機械学会論文集55-509A（1980）147