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星川 潔
ホシカワ キヨシ (Kiyoshi Hoshikawa)
更新日: 2004/12/09
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研究キーワード
所属学協会
共同研究・競争的資金等の研究課題
基本情報
所属
神奈川県産業技術センター
電子技術部 技師
学位
工学修士
J-GLOBAL ID
200901024647947586
researchmap会員ID
0000021488
研究キーワード
2
薄膜の作製技術
thin film forming technology
所属学協会
1
日本機械学会
共同研究・競争的資金等の研究課題
2
薄膜の作製及びデバイスの開発、X線による応力計測に関する研究
Thin film formation and device development Study on measurement of stress by X ray
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