2001年 Mechanical Properties of thin Films Measured by Nanoindenters Applied Surface Science 巻 178, 56-62 号 DOI 10.1016/S0169-4332(01)00242-2 リンク情報 DOIhttps://doi.org/10.1016/S0169-4332(01)00242-2 ID情報 DOI : 10.1016/S0169-4332(01)00242-2 エクスポート BibTeX RIS