2000年 アークイオンプレーティング法により作成した窒化珪素薄膜の特性 表面技術協会 巻 51, 740-744 号 DOI 10.4139/sfj.51.740 リンク情報 DOIhttps://doi.org/10.4139/sfj.51.740 ID情報 DOI : 10.4139/sfj.51.740 エクスポート BibTeX RIS
