2002年
The effect of the species of sputtering gas on the composition of multi component glass film: a new approach to control the composition of multi-component glass film.
J MATER SCI LETT
- ,
- 巻
- 21
- 号
- 10
- 開始ページ
- 765
- 終了ページ
- 766
- DOI
- 10.1023/A:1015793507762
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1023/A:1015793507762
- ISSN : 0261-8028
- CiNii Articles ID : 80015416981