1994年 超精密生産技術体系 第2巻 実用技術 大吉 啓司 担当区分 分担執筆 担当範囲 シリカガラス表面の平たん化 出版者・発行元 フジテクノシステム 総ページ数 1553 担当ページ 1264-1267 記述言語 日本語 著書種別 学術書 DOI ISBN 4938555433 ID情報 ISBN : 4938555433