土井琢磨 (Takuma Doi) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室

J-GLOBAL ID: 200901081103010568
researchmap会員ID: 0000031156

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T61940481

研究キーワード

3

研究分野

1

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 計測工学 /

MISC

4

T. Doi, T. Vorburger and P. Sullivan: Effects of defocus and algorithm on optical step height calibration

Prec. Eng. 23, 135-143 (1999)
T. Doi, K. Toyoda and Y. Tanimura: Effects of phase changes on reflection and their wavelength dependence in optical profilometry

Appl. Opt. 36, 7157-7161 (1997)
T. Doi, T. Vorburger and P. Sullivan: Effects of defocus and algorithm on optical step height calibration

Prec. Eng. 23, 135-143 (1999)
T. Doi, K. Toyoda and Y. Tanimura: Effects of phase changes on reflection and their wavelength dependence in optical profilometry

Appl. Opt. 36, 7157-7161 (1997)

共同研究・競争的資金等の研究課題

1

表面計測