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ダイヤモンドCVDのためのTaフィラメントの強度改善

Thin Solid Films 317 (1998) 371-375

DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00626-3

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DOI: https://doi.org/10.1016/S0040-6090(97)00626-3

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DOI : 10.1016/S0040-6090(97)00626-3
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