特許権 導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 藤井 寿 出願番号 特願H10-018479 出願日 1998年1月30日 公開番号 特開H11-213763 公開日 1999年8月6日 特許番号/登録番号 特許3945887 登録日 発行日 2007年4月20日