基本情報

所属
東京都市大学 総合研究所マイクロナノシステム研究室 教授 (特別教授)
台湾国立清華大学 教授 (玉山榮譽口座教授)
学位
工学博士(東京大学)

J-GLOBAL ID
200901045656155096
researchmap会員ID
0000032203

外部リンク

東京大学生産技術研究所にて、MEMS技術の黎明期であった1980年代半ばから研究を開始し、東北大江刺先生などいろいろの先生方と共同で、日本における技術の確立、発展、実用化に力を注いだ。
(1) マイクロアクチュエータとそのマイクロ加工法
(2) MEMSの光技術やデータ記録デバイスへの応用
(3) MEMSのバイオ技術への応用
(4) MEMSのナノテクノロジー・ナノサイエンスへの応用
(5) MEMS振動発電デバイス
などの研究に従事してきた。東大を定年退職後、現在は東京都市大学でMEMSを中心とする異分野融合研究の推進と、キアノンメディカルシステムズ社の先端研究所の創成に関わっている。

論文

  479

MISC

  277

書籍等出版物

  5

共同研究・競争的資金等の研究課題

  53