特許権 シリコンの製造方法 国立大学法人京都大学 福中 康博, 野平 俊之, 安田 幸司, 萩原 理加 出願番号 特願2005-147139 出願日 2005年5月19日 公開番号 特開2006-321688 公開日 2006年11月30日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903086798204804URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903086798204804 ID情報 J-Global ID : 200903086798204804