2012年12月
旋回流Arプラズマを用いた大気熱プラズマCVDにおける原料供給速度の酸化チタン皮膜に及ぼす影響
プラズマ応用科学
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- 巻
- 20
- 号
- 2
- 開始ページ
- 99
- 終了ページ
- 104
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- プラズマ応用科学会
- リンク情報
- ID情報
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- ISSN : 1340-3214
- CiNii Articles ID : 40019611237
安藤 康高
アンドウ ヤスタカ (Yasutaka Ando)
更新日: 04/03