特許権 カルコパイライト型化合物半導体の製造方法（２） 内富直隆, 飯田誠之, 加藤有行 出願番号 特願2003-079004 出願日 公開番号 特開2004-288875 公開日 2004年10月14日 特許番号/登録番号 特許3998595 登録日 発行日 2007年8月17日
