環境調和型半導体であるCu_2ZnSnS_4(CZTS)を用いた薄膜太陽電池の作製を試みた.基板として三次元構造基板を採用した.基板上に,スプレー熱分解法を用いてCZTSを塗布させプリカーサを作製し,そのプリカーサを貼り合わせてアニールを行うか,SLG板でカバーしてアニールするか,何もカバーをしないかの三種類の方法でアニールを行った.プリカーサを貼り合わせてアニールした場合,変換効率の減少の原因となる亀裂や孔の数を減らすことに成功した.また,塗布していたCZTS溶液の硫黄濃度を下げることでさらに孔の数を減少させることができ,CZTSを用いた三次元構造太陽電池としては初めて変換効率が1%を超えた.