講演・口頭発表等

国際会議
2020年3月8日

Estimation of electrical properties of AlGaN/GaN MIS-HEMTs with SiO2/Al2O3 double-layer insulators fabricated by atomic layer deposition

ISPlasma2020
  • Shunichi Yokoi
  • ,
  • Keita Furuoka
  • ,
  • Toshiharu Kubo
  • ,
  • Takashi Egawa

記述言語
英語
会議種別
口頭発表(一般)
主催者
JSAP
開催地
Nagoya University