2021年3月8日
Estimation of Electrical Properties of AlGaN/GaN MIS-HEMTs with SiO2/Al2O3 Double Insulators Fabricated by ALD
ISPlasma2021
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- 記述言語
- 英語
- 会議種別
- 口頭発表（一般）
- 主催者
- 日本応用物理学会
- 開催地
- オンライン
久保 俊晴
クボ トシハル (Toshiharu Kubo)
更新日: 2022/02/17