1991年10月 プラズマCVD法によるTiN薄膜のトライボロジー特性 平成3年度日本セラミクス協会東北北海道支部研究発表会 尾田雅文, 高野格, 桑原猛, 田中亙, 桂沢豊 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般) 主催者 日本セラミクス協会 開催地 新潟