講演・口頭発表等

1991年10月

プラズマCVD法によるTiN薄膜のトライボロジー特性

平成3年度日本セラミクス協会東北北海道支部研究発表会
  • 尾田雅文
  • ,
  • 高野格
  • ,
  • 桑原猛
  • ,
  • 田中亙
  • ,
  • 桂沢豊

記述言語
日本語
会議種別
口頭発表(一般)
主催者
日本セラミクス協会
開催地
新潟