講演・口頭発表等

2007年11月5日

Effect of annealing and electron irradiation on Young's modulus of amorphous carbon pillars grown by FIB-CVD

20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • Ueki, Ryuichi
    • ,
  • Fujita, Jun-ichi
    • ,
  • Ichihashi, Toshinari
    • ,
  • Kaito, Takashi
    • ,
  • Matsui, Shinji
開催年月日
2007年11月5日 - 2007年11月8日
記述言語
英語
会議種別
口頭発表（一般）
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