2003年1月
Focused ion beam-induced fabrication of tungsten structures
J. Vac Sci. Technol.
- 巻
- B21
- 号
- 開始ページ
- 2728-2731
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
藤田 淳一
フジタ ジユンイチ (Jun-ichi Fujita)
更新日: 04/22