論文

査読有り
2006年1月

Comparison of Young's Modulus Dependency on Beam Accelerating Voltage between Electron-Beam- and Focused Ion-Beam-Induced Chemical Vapor Deposition Pillars

Jpn. J. Appl. Phys
  • S., Okada
    • ,
  • T., Mukawa
    • ,
  • R., Kobayashi
    • ,
  • M., Ishida
    • ,
  • Y., Ochiai
    • ,
  • T., Kaito
    • ,
  • S., Matsui
    • ,
  • J., Fujita
巻
45
号
開始ページ
5556-5569
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
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