2021年 イオンフラックス制御型反応性プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜構造制御に関する研究 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 松田崇行, 濱野誉, 朝本雄也, 野間正男, 山下満, 長谷川繁彦, 占部継一郎, 江利口浩二 巻 82nd 号 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=202202226878046263 ID情報 J-Global ID : 202202226878046263 エクスポート BibTeX RIS
