田原 竜夫
Tatsuo Tabaru
更新日: 08/20
基本情報
研究キーワード
7経歴
4-
2001年
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1999年
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1997年
論文
54-
Journal of Vacuum Science and Technology B 42(4) 2024年7月1日
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AIP Advances 13(2) 2023年2月1日 査読有り
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Journal of Vacuum Science & Technology A 2022年9月
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 61(4) 2022年4月
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ACS Applied Electronic Materials 3(11) 4743-4756 2021年11月23日
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Plasma Chemistry and Plasma Processing 2021年9月15日
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IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 34(2) 224-226 2021年5月1日
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Journal of Vacuum Science & Technology A 39(1) 013001-013001 2021年1月 査読有り
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Journal of Vacuum Science and Technology B 38(3) 2020年5月1日
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Journal of Japan Institute of Electronics Packaging 23(4) 280-286 2020年
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日本表面真空学会学術講演会要旨集 2020 30 2020年
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Thin Solid Films 692 2019年12月31日
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58(SE) 2019年6月 査読有り
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Algorithms 12(5) 2019年5月1日
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58(4) 2019年4月 査読有り
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e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 17 27-31 2019年3月23日
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Anomaly Detection of Rotary Vacuum Pump Using Thin AE Sensor and Reconstruction Error of AutoencoderTransactions of the Society of Instrument and Control Engineers 54(7) 599-605 2018年
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Review of Scientific Instruments 89(6) 063501-063501 2018年 査読有り
MISC
42-
精密工学会学術講演会講演論文集 2021S 368-369 2021年3月3日
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日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 2Ca09Y 2021年
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表面と真空 63(6) 283-288 2020年6月10日
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精密工学会学術講演会講演論文集 2020S 42-43 2020年3月1日
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生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2019.13 D22 2019年
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日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 1P01Y 2019年
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エレクトロニクス実装学会誌 22(3) 209‐217(J‐STAGE) 2019年
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表面科学学術講演会要旨集 2018 266 2018年
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表面科学学術講演会要旨集 37 99 2017年
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表面科学学術講演会要旨集 37 100 2017年
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 45(6A) 5169-5173 2006年6月
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JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN 114(1331) 657-659 2006年
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JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF METALS 70(1) 51-58 2006年
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Measurement of output voltage of aluminum nitride thin film as a pressure sensor at high temperatureJOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY 26(15) 3425-3430 2006年
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FRACTURE AND STRENGTH OF SOLIDS VI, PTS 1 AND 2 306-308 941-946 2006年
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MATERIALS TRANSACTIONS 46(6) 1175-1179 2005年6月
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METALLURGICAL AND MATERIALS TRANSACTIONS A-PHYSICAL METALLURGY AND MATERIALS SCIENCE 36A(3) 617-626 2005年3月
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第15回 アコースティック・エミッション総合コンファレンス論文集 97-100 2005年
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JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN 113(1317) 376-379 2005年
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ADVANCES IN FRACTURE AND STRENGTH, PTS 1- 4 297-300 507-512 2005年