田原竜夫 (Tatsuo Tabaru) - マイポータル

基本情報

学位: 博士(工学）(東北大学)

J-GLOBAL ID: 200901041440206162
researchmap会員ID: 0000202981

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T86512675

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論文

Impact of inductively coupled plasma injection on capacitively coupled plasma with a ring-shaped hollow cathode using methane and hydrogen mixture gases

Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru, Julian Schulze

Vacuum 237 2025年7月
Characteristics of a hybrid radio frequency capacitively and inductively coupled plasma using hydrogen gas

Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru, Julian Schulze

Journal of Vacuum Science and Technology B 42(4) 2024年7月1日
Suppression of substrate temperature in DC magnetron sputtering deposition by magnetic mirror-type magnetron cathode

Taisei Motomura, Kenshin Takemura, Toshimi Nagase, Nobutomo Morita, Tatsuo Tabaru

AIP Advances 13(2) 2023年2月1日査読有り
Substrate temperature dependence of GaN film deposited on sapphire substrate by high-density convergent plasma sputtering device

Taisei Motomura, Tatsuo Tabaru, Masato Uehara

Journal of Vacuum Science & Technology A 2022年9月
Effect of RF power on AlN film crystallinity in low pressure range using Ar-20%N-2 gases by magnetic mirror-type magnetron cathode

Yuto Kawato, Taisei Motomura, Tatsuo Tabaru, Masato Uehara, Tetsuya Okuyama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 61(4) 2022年4月
Heat-Resistant, Flexible Piezoelectric Sheet Sensors Based on Solution-Processed Zinc Oxide Films for In-Vehicle Driver Monitoring Applications

Toshimi Nagase, Kazuhiro Nonaka, Yasutake Koishi, Shuichi Ishida, Tatsuo Tabaru, Yasushi Sato

ACS Applied Electronic Materials 3(11) 4743-4756 2021年11月23日
Preparation of Water-Repellent Film on a Plastic Plate by Unbalanced Radio-Frequency Magnetron Plasma Sputtering Using PTFE Target for a Next-Generation Automobile Window

Yasunori Ohtsu, Yuta Ino, Yuki Fujio, Tatsuo Tabaru, Takeshi Yasunaga, Yasuyuki Ikegami

Plasma Chemistry and Plasma Processing 2021年9月15日
Decrease in Particles by Substituting Conductive Magnesium-Oxide Based Ceramics for Conventional Electrode Materials Used in Process Chamber of Plasma Etching

Yuji Kasashima, Takashi Ikeda, Tatsuo Tabaru

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 34(2) 224-226 2021年5月1日
Influence of nitrogen gas flow ratio on gallium nitride film growth using high-density convergent plasma sputtering device at room temperature

T. Motomura, T. Tabaru, Y. Fujio, T. Okuyama

Journal of Vacuum Science & Technology A 39(1) 013001-013001 2021年1月査読有り
Low-temperature AlN film deposition using magnetic mirror-type magnetron cathode for low gas pressure operation

Taisei Motomura, Tatsuo Tabaru, Masato Uehara, Yuki Fujio, Tetsuya Okuyama

Journal of Vacuum Science and Technology B 38(3) 2020年5月1日
Anomaly detection by piezoelectric thin films sensing using machine learning

Shuichi Ishida, Tatsuo Tabaru

Journal of Japan Institute of Electronics Packaging 23(4) 280-286 2020年
高密度収束プラズマスパッタリング装置を用いた室温窒化ガリウム成膜の窒素ガス流量比依存性

本村大成, 田原竜夫, 藤尾侑輝, 奥山哲也

日本表面真空学会学術講演会要旨集 2020 30 2020年
Residual stress reduction in piezoelectric Sc0.4Al0.6N films by variable-pressure sputtering from 0.4 to 1.0 Pa

Tatsuo Tabaru, Morito Akiyama

Thin Solid Films 692 2019年12月31日
Treatment of a polycarbonate plate for a next-generation vehicle window by radio frequency magnetron plasma sputtering using a PVDF target

Yasunori Ohtsu, Yusuke Takada, Kosei Sugawara, Yuki Fujio, Tatsuo Tabaru

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58(SE) 2019年6月査読有り
A source domain extension method for inductive transfer learning based on flipping output

Yasutake Koishi, Shuichi Ishida, Tatsuo Tabaru, Hiroyuki Miyamoto

Algorithms 12(5) 2019年5月1日
Investigation of the relationship between plasma etching characteristics and microstructures of alumina ceramics for chamber parts

Kasashima Yuji, Tabaru Tatsuo, Matsuda Osamu, Motomura Taisei

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58(4) 2019年4月査読有り
Potential of High-density Convergent Plasma Sputtering Device for Magnetic Film Deposition

Taisei Motomura, Tatsuo Tabaru

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 17 27-31 2019年3月23日
Magnetron sputtering cathode for inward enlargement of doughnut-shaped plasma discharge area

Motomura, T., Tabaru, T.

Vacuum 169 2019年査読有り
Anomaly Detection of Rotary Vacuum Pump Using Thin AE Sensor and Reconstruction Error of Autoencoder

Masato UCHIDA, Shuichi ISHIDA, Tatsuo TABARU, Hiroyuki MIYAMOTO

Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 54(7) 599-605 2018年
High-density convergent plasma sputtering device for a liquid metal target using an unheated glass plate

Motomura, T., Tabaru, T.

Review of Scientific Instruments 89(6) 063501-063501 2018年査読有り

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MISC

切削中のAE信号と機械学習を用いた加工状態の観察に関する研究

井上賢人, 是澤宏之, 楢原弘之, 石田秀一, 本村大成, 田原竜夫

精密工学会学術講演会講演論文集 2021S 368-369 2021年3月3日
高密度収束プラズマスパッタリング装置を用いたc軸配向窒化ガリウム薄膜の低温成膜

本村大成, 田原竜夫, 上原雅人

日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 2Ca09Y 2021年
磁気ミラー型マグネトロンカソードの開発

本村大成, 田原竜夫

表面と真空 63(6) 283-288 2020年6月10日
AEと機械学習を利用したエンドミル工具の状態観察に関する研究

井上賢人, 是澤宏之, 楢原弘之, 石田秀一, 本村大成, 田原竜夫

精密工学会学術講演会講演論文集 2020S 42-43 2020年3月1日
AE を利用した機械学習によるエンドミル工具の摩耗観測手法の検討

井上賢人, 是澤宏之, 楢原弘之, 石田秀一, 本村大成, 田原竜夫

生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2019.13 D22 2019年
小口径ドーナツ型プラズマ放電を可能にするマグネトロンカソード

本村大成, 田原竜夫

日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 1P01Y 2019年
薄型AEセンサと転移学習を用いたワイヤボンディング抜取検査の性能向上

小石泰毅, 小石泰毅, 石田秀一, 田原竜夫, 岩崎渉, 宮本弘之

エレクトロニクス実装学会誌 22(3) 209‐217(J‐STAGE) 2019年
高密度収束プラズマを用いた磁性体金属スパッタリング装置

本村大成, 田原竜夫

表面科学学術講演会要旨集 2018 266 2018年
0.15Paでの持続放電を可能にしたミラー磁場を持つDCマグネトロンカソード

本村大成, 田原竜夫

表面科学学術講演会要旨集 37 99 2017年
高密度窒素プラズマ源を用いた液体金属スパッタリング装置

本村大成, 田原竜夫

表面科学学術講演会要旨集 37 100 2017年
Piezoelectric response to pressure of aluminum nitride thin films prepared on nickel-based superalloy diaphragms

Ohshima, I, M Akiyama, A Kakami, T Tabaru, T Kamohara, Y Ooishi, H Noma

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 45(6A) 5169-5173 2006年6月
インコネル基板上に作製した配向性ＡｌＮ薄膜の高圧応答性と高温耐久性

JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN 114(1331) 657-659 2006年
チタン－陶材焼付合金界面反応への金コーティングの効果

JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF METALS 70(1) 51-58 2006年
Measurement of output voltage of aluminum nitride thin film as a pressure sensor at high temperature

Kazushi Kishi, Yasunobu Ooishi, Hiroaki Noma, Eizo Ushijima, Naohiro Ueno, Morito Akiyama, Tatsuo Tabaru

JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY 26(15) 3425-3430 2006年
Effects of Re alloying on mechanical properties of in-situ composites with base composition of Nb-18Si-2HfC

SW Wang, T Tabaru, H Hirai, H Ueno

FRACTURE AND STRENGTH OF SOLIDS VI, PTS 1 AND 2 306-308 941-946 2006年
Development of new equilibrium calculation software: CaTCalc

K Shobu, T Tabaru

MATERIALS TRANSACTIONS 46(6) 1175-1179 2005年6月
Development of Mo(Si,Al)(2)-base oxidation-resistant coating on Nb-base structural materials

T Tabaru, JH Kim, K Shobu, M Sakamoto, H Hirai, S Hanada

METALLURGICAL AND MATERIALS TRANSACTIONS A-PHYSICAL METALLURGY AND MATERIALS SCIENCE 36A(3) 617-626 2005年3月
薄膜型高耐熱AEセンサの開発

第１５回アコースティック・エミッション総合コンファレンス論文集 97-100 2005年
高温ガスを照射した窒化ケイ素表面の光学顕微鏡観察

岸和司, 宇佐美初彦, 伊岐見大輔, 水野峰男, 前田英司, 田原竜夫

JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN 113(1317) 376-379 2005年
Tensile and fracture behavior of Nb-SS/Nb5Si3 in-situ composites prepared by arc melting

JH Kim, T Tabaru, M Sakamoto, S Hanada

ADVANCES IN FRACTURE AND STRENGTH, PTS 1- 4 297-300 507-512 2005年

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