2006年 『未来型アクチュエータ材料・デバイス』 監修：古屋泰文、樋口俊郎、今泉伸夫 増本 博 担当区分 共著 担当範囲 第2章 2.6 薄膜化プロセス(pp.80-86) 出版者・発行元 シーエムシー出版 記述言語 日本語 著書種別 学術書
