清野 慧

J-GLOBALへ         更新日: 07/09/04 00:00
 
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研究者氏名
清野 慧
 
キヨノ サトシ
所属
旧所属 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻
職名
教授
学位
工学博士(京都大学)

研究分野

 
 

受賞

 
2004年
精密工学会賞(Award of JSPE)
 
2003年
精密工学会沼田記念論文賞
 
2001年
精密工学会賞(Award of JSPE)
 
1998年
精密工学会高城賞
 
1998年
精密工学会賞(Award of JSPE)
 

Misc

 
清野 慧, 高 偉, 金井 雅也, 星野 唯, 清水 裕樹
精密工学会誌   67(3) 493-497   2001年
KIYONO S, GAO W, ZHANG S, ARAMAKI T
Optical Engineering, Journal of SPIE   39(10) 2720-2725   2000年
In situ absolute calibration of displacement sensor
Proceedings of IMEKO-XV World congress   ,231-234    1999年
KIYONO S, CAI P, GAO W
JSME International Journal   42(1) 44-48   1999年
清野 慧, 孫 萍, 高 偉
精密工学会誌   64(8) 1137-1142   1998年

書籍等出版物

 
清野 慧
1995年   
清野 慧
1997年   
超精密計測がひらく世界
1998年   
次世代精密位置決め技術
2000年   

Works

 
干渉縞検出装置
芸術活動   
移動物体の位置及び姿勢検出方法
芸術活動   
干渉計を用いた形状測定法
芸術活動   
センサの自律校正方法
芸術活動   

競争的資金等の研究課題

 
センサの自律校正法に関する研究
研究期間: 1996年   
表面形状の超精密絶対測定に関する研究
研究期間: 1981年   
多自由度の位置・姿勢の精密検出
研究期間: 1986年   

特許

 
アクチュエータの出力を間接的に正しく推定する方法(Method of Accurately Estimating the Output of Actuator)
特開平7-72928
センサの自律校正法(Method of Self-calibration of Sensors)
特開平6-213675
光学的測定装置(Optical Measurement Apparatus)
特許3164615
光学的測定装置(Optical Measurement Apparatus)
特許3192461
光学式面形状測定方法及び面形状測定用光学式プローブ
特開平01-233310