2021年10月5日
Preliminary Study of Atomic Diffusion Bonding in Air using Ag films
2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
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- 開始ページ
- 39
- 終了ページ
- 39
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- DOI
- 10.1109/ltb-3d53950.2021.9598421
- 出版者・発行元
- IEEE
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1109/ltb-3d53950.2021.9598421