南部健一 (Kenichi Nanbu) - マイポータル

基本情報

所属: 旧所属東北大学流体科学研究所ミクロ熱流動研究部門教授

学位: 工学修士(東北大学)

J-GLOBAL ID: 200901099891615790
researchmap会員ID: 1000005310

外部リンク: http://www.ifs.tohoku.ac.jp/plasma/

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研究分野

経歴

1986年 - 2001年

東北大学教授
1986年 - 2001年

東北大学
1974年 - 1986年

東北大学助教授
1974年 - 1986年

東北大学
1970年 - 1974年

東北大学講師
1970年 - 1974年

東北大学

学歴

MISC

226

Particle modeling of the electrical discharge in the upper atmosphere above thundercloud

Lizhu Tong, Kenichi Nanbu, Yasutaka Hiraki, Hiroshi Fukunishi

Journal of the Physical Society of Japan 73(9) 2438-2443 2004年9月
Particle modeling of the electrical discharge in the upper atmosphere above thundercloud

LZ Tong, K Nanbu, Y Hiraki, H Fukunishi

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN 73(9) 2438-2443 2004年9月
Sheath model for dual-frequency capacitively coupled plasmas

K Denpoh, G Wakayama, K Nanbu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(8A) 5533-5539 2004年8月
Synthesis of sheath voltage drops in asymmetric radio-frequency discharges

S Yonemura, K Nanbu, N Iwata

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 96(1) 127-132 2004年7月
Particle modelling of plasma confinement by a multipolar magnetic field

H Takekida, K Nanbu

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 37(13) 1800-1808 2004年7月
Effect of driving frequency on the electron energy probability function of capacitively coupled argon plasmas comparison between simulation and experiment

H Takekida, K Nanbu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43(6A) 3590-3591 2004年6月
Coupling of plasma and flow in materials processing

M Shiozawa, K Nanbu

THIN SOLID FILMS 457(1) 48-54 2004年6月
Weighting factor for particle modeling of axisymmetrical low temperature plasmas

H Takekida, K Nanbu

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN 73(3) 756-757 2004年3月
Generation of metastable oxygen atom 0(1D) in sprite halos

Geophysical Research Letters 31(14) 2004年
Particle modeling of noneqilibrium plasmas and gases for materials processing

Recent Res. Devel. Vacuum Sci. Tech. 5 1-57 2004年
表面励起プラズマの粒子モデル解析

東北大学流体科学研究所報告 15 53-99 2004年
誘導結合プラズマによるエッチングの基板バイアス効果

南部健一, 江戸隆諭, 高橋正嘉

東北大学流体科学研究所報告 15 25-52 2004年
Generation of metastable oxygen atom 0(1D) in sprite halos

Geophysical Research Letters 31(14) 2004年
Particle modeling of noneqilibrium plasmas and gases for materials processing

Recent Res. Devel. Vacuum Sci. Tech. 5 1-57 2004年
Self-consistent particle-in-cell/Monte Carlo simulation of RF magnetron discharges of oxygen/argon mixture: Effects of partial pressure ratio

S Yonemura, K Nanbu

IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 31(4) 479-487 2003年8月
Study on the dual frequency capacitively coupled plasmas by the particle-in-cell/Monte Carlo method

G Wakayama, K Nanbu

IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 31(4) 638-644 2003年8月
プロセスプラズマのモンテカルロシミュレーション

シミュレーション 22(4) 15-23 2003年
Velocity Distribution of Ions Incident on a Wafer in Two Frequency Capacitively-Coupled Plasmas

Rarefied Gas Dynamics: Proceedings of the 23rd International Symposium on Raefied Gas Dynamics ,1079-1086 2003年
Numerical Study of Flow and Plasma in an inductive Chlorine Discharge

Rarefied Gas Dynamics: Proceedings of the 23rd International Symposium on Rarefied Gas Dynamics ,873-880 2003年
Numerical Analysis of RF Magnetron Discharges of Oxygen/ Argon Mixture

Rarefied Gas Dynamics: Proceedings of the 23rd International Symposium on Rarefied Gas Dynamics ,865-872 2003年

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書籍等出版物

Electron Energy Distributions in an Inductively Coupled Plasma Reactor

1999年
Electron Energy Distributions in an Inductively Coupled Plasma Reactor

1999年
原子・分子モデルを用いる数値シュミレーション

1996年
原子・分子の流れ

1996年
Foundation of Atomic / Molecular Simulation of SDolids, Liguids and Gases

1996年
Flow of atoms and molecles

1996年
乱れる

1995年
燃焼・希薄流・混相流・電磁流体の解析

1995年
Growth Rate of Films in Low-Pressure CVD Reactors

1991年
Growth rate of films fabricated by the sputtering method

1991年
数値流体力学

1991年
Growth Rate of Films in Low-Pressure CVD Reactors

1991年
Growth rate of films fabricated by the sputtering method

1991年

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

プロセスプラズマと希薄気体のモデリングに関する研究

科学研究費補助金 2000年 - 2006年
希薄気体流の数値解析法の研究

科学研究費補助金 2000年 - 2006年
Study on Processing Plasma and Rarefied Gas

Grant-in-Aid for Scientific Research 2000年 - 2006年
Study on Numerical Analysis of Rarefied Flows

Grant-in-Aid for Scientific Research 2000年 - 2006年