大塚 誠

本研究では，電磁場を感知して動作する形状記憶合金材料を開発し，これをアクチュエータへ応用し，これまでにない多機能性を有する次世代マイクロアクチュエータ用デバイスを創製することを目的とする．

センサーやアクチュエータ用の形状記憶素子として本合金薄膜の実用化を考えた場合には，その機械的特性は非常に重要である．そこで，本研究では，スパッタ法によりNi－Mn－Gaスパッタ膜をアルミナ基板上に作製し，種々の熱処理を施して，組成，組織，構造に及ぼす作製条件の効果について調査し，得られた合金膜の機械的特性（硬さ，弾性定数）に及ぼす影響についてナノインデンテーション法により評価することを目的とした．