MISC

2003年

大気圧以上での高圧力下でのプラズマCVDによるダイヤモンドの高速合成

精密工学会精密工学会誌
  • 豊田 洋通
  • ,
  • 井出 敞
  • ,
  • 八木 秀次
  • ,
  • 垣内 弘章
  • ,
  • 森 勇藏

69
10
開始ページ
1444
終了ページ
1448
DOI
10.2493/jjspe.69.1444

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https://doi.org/10.2493/jjspe.69.1444
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http://ci.nii.ac.jp/naid/110001373502