浅野種正 (Tanemasa Asano) - マイポータル

基本情報

所属: 九州大学 (名誉教授)

学位: 工学博士

J-GLOBAL ID: 200901039224610523
researchmap会員ID: 1000041121

外部リンク: http://fed.ed.kyushu-u.ac.jp/

研究キーワード

研究分野

委員歴

2006年 - 2008年

電子情報通信学会, シリコン材料・デバイス研究専門委員会委員長

論文

147

Evaluation of Temperature at SiC Surface during Pulsed Excimer Laser Irradiation

Shogo Mutoh, Akihiro Ikeda, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

Proceedings of the 2021 International Japan-Africa Conference on Electronics, Communications, and Computations, JAC-ECC 2021 217-220 2021年
Demonstration of GaN/LiNbO<inf>3</inf> Hybrid Wafer Using Room-Temperature Surface Activated Bonding

Ryo Takigawa, Takashi Matsumae, Michitaka Yamamoto, Eiji Higurashi, Tanemasa Asano, Haruichi Kanaya

ECS Journal of Solid State Science and Technology 9(4) 2020年1月5日
Ultrathin adhesive layer between LiNbO3 and SiO2 for bonded LNOI waveguide applications

Takigawa Ryo, Higurashi Eiji, Asano Tanemasa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58 2019年8月1日査読有り
Increasing Laser-Doping Depth of Al in 4H-SiC by Using Expanded-Pulse Excimer Laser

Akihiro Ikeda, Takashi Shimokawa, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

Materials Science Forum 963 412-415 2019年7月査読有り
High-Concentration, Low-Temperature, and Low-Cost Excimer Laser Doping for 4H-SiC Power Device Fabrication

Kaname Imokawa, Toshifumi Kikuchi, Kento Okamoto, Daisuke Nakamura, Akihiro Ikeda, Tanemasa Asano, Hiroshi Ikenoue

Materials Science Forum 963 403-406 2019年7月査読有り
Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using laser doping with an Al thin-film dopant source

Kento Okamoto, Toshifumi Kikuchi, Akihiro Ikeda, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58 2019年6月
Analysis of square-law detector for high-sensitive detection of terahertz waves

Hiromu Kojima, Daishi Kido, Haruichi Kanaya, Hiroyuki Ishii, Tatsuro Maeda, Mutsuo Ogura, Tanemasa Asano

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 125(17) 2019年5月査読有り
Residual stress in lithium niobate film layer of LNOI/Si hybridwafer fabricated using low-temperature bonding method

Ryo Takigawa, Toru Tomimatsu, Eiji Higurashi, Tanemasa Asano

Micromachines 10(2) 2019年2月18日
Low-temperature, high-concentration laser doping of 4H-SiC for low contact resistance

T. Kikuchi, K. Imokawa, A. Ikeda, D. Nakamura, T. Asano, H. Ikenoue

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 10905 2019年
Highly sensitive terahertz-wave arrayed detector using InAs-HEMT on glass for video-imaging application

Kojima Hiromu, Kido Daishi, Kanaya Haruichi, Ishii Hiroyuki, Maeda Tatsuro, Kume Eiji, Ogura Mutsuo, Asano Tanemasa

TERAHERTZ, RF, MILLIMETER, AND SUBMILLIMETER-WAVE TECHNOLOGY AND APPLICATIONS XII 10917 2019年査読有り
Formation of Low Resistance Contacts to p-type 4H-SiC using Al-Film Source Laser Doping

Kento Okamoto, Toshifumi Kikuchi, Akihiro Ikeda, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

PHOTOPTICS: PROCEEDINGS OF THE 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHOTONICS, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY 291-295 2019年
Thin-film lithium niobate-on-insulator waveguides fabricated on silicon wafer by room-temperature bonding method with silicon nanoadhesive layer

Takigawa Ryo, Asano Tanemasa

OPTICS EXPRESS 26(19) 24413-24421 2018年9月17日査読有り
Room-temperature wafer bonding of LiNbO3 and SiO2 using a modified surface activated bonding method

Takigawa Ryo, Higurashi Eiji, Asano Tanemasa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57(6) 2018年6月査読有り
Evaluation of effective length of the enhanced oxidation of active oxygen produced using SrTixMg1-xO3-δ catalyst for low-temperature oxidation

Hsiang Fang Sun, Akihiro Ikeda, Tanemasa Asano

Japanese Journal of Applied Physics 57(4) 2018年4月1日査読有り
Room-temperature Hermetic Packaging Using Ultrasonic Cu-Cu Bonding with Compliant Rim

Takigawa Ryo, Iwanabe Keiichiro, Ikeda Akihiro, Takao Takayuki, Asano Tanemasa

SENSORS AND MATERIALS 30(12) 2897-2903 2018年査読有り
Effect of Subthreshold Slope on Sensitivity of MOS-HEMT Square Law Detector for THz Waves

PROCEEDINGS OF TENCON 2018 - 2018 IEEE REGION 10 CONFERENCE 1049-1052 2018年査読有り
切削加工によるSi基板上LNOI光導波路の作製検討

多喜川良, 日暮栄治, 川西哲也, 浅野種正

エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 32 169-170 2018年
Surface activated bonding of LiNbO<inf>3</inf> and GaN at room temperature

R. Takigawa, E. Higurashi, T. Asano

ECS Transactions 86(5) 207-213 2018年
Increased doping depth of Al in wet-chemical laser doping of 4H-SiC by expanding laser pulse

Akihiro Ikeda, Daichi Marui, Rikuho Sumina, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 70 193-196 2017年11月査読有り
Investigation of the interface between LiNbO3 and Si wafers bonded by laser irradiation

Ryo Takigawa, Hiroki Kawano, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(8) 2017年8月査読有り

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MISC

130

接合中間層がLNOI光導波路特性に及ぼす影響調査

多喜川良, 日暮栄治, 日暮栄治, 浅野種正

エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM) 33rd 2019年
Al注入した4H-SiCへのレーザ照射によるAl拡散とシート抵抗の調査

武藤彰吾, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 3402-3402 2018年9月5日
SiCへのエキシマレーザ照射によるAlの再分布の調査

武藤彰吾, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 44 2018年
4H-SiCへのレーザードーピング特性におけるパルス幅拡大の効果

下川高史, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 44 2018年
レーザードーピングを用いた4H-SiC:C面への低抵抗p型コンタクトの形成

岡本健人, 菊地俊文, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th 2018年
SiCパワーデバイス製造用レーザードーピングシステムの開発

菊地俊文, 妹川要, 池田晃裕, 中村大輔, 浅野種正, 池上浩

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th 2018年
SiNx膜レーザーアブレーションによる4H-SiCへの窒素ドーピング

菊地俊文, 妹川要, 池田晃裕, 中村大輔, 浅野種正, 池上浩

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
イオンビーム活性化接合法によるSi上LNOI導波路の作製と光伝搬特性評価

多喜川良, 日暮栄治, 日暮栄治, 浅野種正

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
AlレーザードーピングにおけるAl/SiC界面化合物層の調査

筒井良太, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 43 2017年
4H-SiCのC面にレーザードーピングで形成したp型層へのコンタクト抵抗の評価

岡本健人, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 43 2017年
高濃度Al注入した4H-SiCの活性化アニールに関する研究

武藤彰吾, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 43 2017年
表面保護膜を用いた液中レーザードーピング法によりAlドープされた4H-SiCの電気特性評価

土屋知大, 諏訪輝, 池田晃裕, 中村大輔, 浅野種正, 池上浩

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
触媒SrTi_xMg_1-xO_3-δを用いたSi熱酸化の増速効果の調査

SUN H.F., 池田晃裕, 浅野種正

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
4H-SiC中へのAlのレーザドーピングおけるドープ領域の調査

池田晃裕, 角名陸歩, 筒井良太, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th 2017年
表面活性化と低温熱処理を併用したLiNbO₃ウェハとSiO₂/Siウェハの直接接合

多喜川良, 日暮栄治, 日暮栄治, 浅野種正

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
4H-SiCへのAlレーザードーピングにおける基板昇温効果

筒井良太, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 42 2016年
Si保護膜を用いた4H-SiCへのAlCl₃水溶液中レーザー照射によるAlドーピング

土屋知大, 池上浩, 諏訪輝, 池田晃裕, 中村大輔, 浅野種正

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th 2016年
無電解めっきを用いた電気泳動によるTSV埋め込み用シード膜の成膜

新田航平, 多喜川良, 池田晃裕, 熊澤光章, 平井俊明, 小松通郎, 浅野種正

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年
SiN_x膜レーザーアブレーションによる4H-SiCへの窒素ドーピングと窒素拡散機構に関する研究

小島遼太, 池上浩, 諏訪輝, 池田晃裕, 中村大輔, 浅野種正, 岡田龍雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年
堆積薄膜へのレーザ照射による4H-SiCへのAlのドーピング特性

角名陸歩, 池田晃裕, 池上浩, 浅野種正

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年

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書籍等出版物

薄膜工学

丸善 2004年
電子デバイス工学

森北出版 1990年
積層材料技術

コロナ社 1989年
超微細加工入門

オーム社 1989年
Heteroepitaxy of semiconductor/fluoride/Si structures

Heterostructures on Si : On Step Further with Si 1989年
Heteroepitaxy of semiconductor/insulator layered structures on Si substrates by molecular beam epitaxy

Deposition and Growth : Limits for Microelectronics 1988年
SOI構造形成技術

産業図書 1987年
Epitaxial growth of group-IIa fluoride for semiconducor insulator layered structures

Japan Annual Review in Electronics, Computers. and Telecommunications 1986年

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

異種機能コデザインによるテラヘルツ帯ビデオイメージングデバイスの開発

科学技術振興機構戦略的な研究開発の推進/戦略的創造研究推進事業/CREST 2014年 - 2019年

浅野種正
ワイヤボンディング時に発生する局所歪みのその場計測技術の開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/マッチングプランナープログラム 2016年 - 2016年

浅野種正
ソフトマテリアルとLSIのマイクロ接合技術の開発と装置化

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/ハイリスク挑戦タイプ 2012年 - 2014年

浅野種正
電子部品の低温真空封止技術の開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/探索タイプ 2012年 - 2013年

浅野種正
形態機能性マイクロ接合によるナノデバイス/CMOS融合型三次元集積回路の創生

科学研究費補助金 2009年 - 2013年
ソフトマテリアルとシリコンLSIのマイクロインターコネクト

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/探索タイプ 2011年 - 2011年

浅野種正
異種機能集積システムLSIを牽引するマイクロ接合技術の研究開発

JST地域イノベーション創出総合支援事業 2007年 - 2011年
ナノインクジェット技術による有機半導体単結晶薄膜のポジショニング成長

科学研究費補助金 2009年 - 2010年
薄膜トランジスタ(TFT)を用いた高性能回路に関する研究
3D-LSI System Technology
Naono-inkjet Technology
Study of Vacuum Microelectronics Devices
Study on SOI and Thin-Film Transistors and Their Application to Novel Integrated Circuits

浅野種正

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研究分野

委員歴

論文

MISC

書籍等出版物

所属学協会

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