2003年
Deposition of Nano-Cluster-Dispersed a-Si:H Films using H2+SiH4 Twin Discharges
- 出版者・発行元
- Proc. International Symposium on Information Science and Electrical Engineering 2003
渡辺 征夫
ワタナベ ユキオ (Yukio Watanabe)
更新日: 2022/09/28