MISC

国際誌
2002年

Correlation between Si cluster amount in silane HF discharges and quality of a-Si:H films

Proc. ESCANPIG16/ICRP5
  • M. Shiratani
    • ,
  • M. Kai
    • ,
  • K. Imabeppu
    • ,
  • K. Koga
    • ,
  • Y. Watanabe
巻
II-323-324
号
記述言語
英語
掲載種別
エクスポート
BibTeX RIS
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