講演・口頭発表等

国際会議
2017年12月6日

Deposition of High Quality Silicon Thin Films Utilizing Nanoparticles Trapped in Plasmas

27th annual meeting of MRS-J
  • K. Koga
    • ,
  • T. Kojima
    • ,
  • S. Toko
    • ,
  • D. Yamashita
    • ,
  • H. Seo
    • ,
  • N. Itagaki
    • ,
  • M. Shiratani
開催年月日
2017年12月5日 - 2017年12月7日
記述言語
英語
会議種別
開催地
Yokohama Port Opening Plaza
国・地域
日本
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