講演・口頭発表等

2018年3月20日

水素原子源付プラズマCVD法に任意電圧波形を併用したa-C:H薄膜の堆積

第65回応用物理学会春季学術講演会
  • 古閑一憲
    • ,
  • 山木健司
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  • 方トウジュン
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  • 山下大輔
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  • 徐鉉雄
    • ,
  • 板垣奈穂
    • ,
  • 白谷正治
開催年月日
2018年3月17日 - 2018年3月20日
記述言語
日本語
会議種別
開催地
早稲田大学
国・地域
日本
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