論文

査読有り 国際誌
2019年9月

Spatial-Structure of Fluctuation of Amount of Nanoparticles in Amplitude-Modulated VHF Discharge Reactive Plasma

Plasma Fusion Res.
  • R. Zhou
  • ,
  • K. Kamataki
  • ,
  • H. Ohtomo
  • ,
  • D. Yamashita
  • ,
  • N. Itagaki
  • ,
  • K. Koga
  • ,
  • M. Shiratani

14
記述言語
英語
掲載種別
DOI
10.1585/pfr.14.4406120

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1585/pfr.14.4406120
ID情報
  • DOI : 10.1585/pfr.14.4406120

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