論文

査読有り 国際誌
2015年10月

Measurement of absolute density of N atom in sputtering plasma for epitaxial growth ZnO films via nitrogen mediated crystallization

Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP
  • T. Ide
  • K. Matsushima
  • T. Takasaki
  • K. Takeda
  • M. Hori
  • D. Yamashita
  • H. Seo
  • K. Koga
  • M
  • Shiratani
  • N. Itagaki
    • … 全て表示
折りたたむ
巻
60
号
9
記述言語
英語
掲載種別
エクスポート
BibTeX RIS
論文リストへ