河合良信 (Yoshinobu Kawai) - マイポータル

基本情報

所属: 九州大学大学院総合理工学研究院エネルギー理工学部門大学院総合理工学研究院特任教授

学位: 理学博士(名古屋大学)
工学修士(同志社大学)

J-GLOBAL ID: 200901004391017976
researchmap会員ID: 1000042617

研究キーワード

研究分野

学歴

委員歴

1999年 - 2003年

プラズマ・核融合学会, 理事

MISC

Large area SiH4/H-2 VHF plasma produced at high pressure using multi-rod electrode

Yasuhiro Yamauchi, Yoshiaki Takeuchi, Hiromu Takatsuka, Yuichi Kai, Hiroshi Muta, Yoshinobu Kawai

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 202(22-23) 5668-5671 2008年8月
Large area VHF plasma production by a balanced power feeding method

T. Nishimiya, Y. Takeuchi, Y. Yamauchi, H. Takatsuka, T. Shioya, H. Muta, Y. Kawai

THIN SOLID FILMS 516(13) 4430-4434 2008年5月
Characteristics of VHFH2 plasma produced at high pressure

Y. Yamauchi, Y. Takeuchi, H. Takatsuka, H. Yamashita, H. Muta, Y. Kawai

CONTRIBUTIONS TO PLASMA PHYSICS 48(4) 326-330 2008年
Large Area SiH(4)/H(2) VHF Plasma Produced with Multi-Rod Electrode

Tatsuyuki Nishimiya, Yoshiaki Takeuchi, Yasuhiro Yamauchi, Hiromu Takatsuka, Yuichi Kai, Hiroshi Muta, Yoshinobu Kawai

PLASMA PROCESSES AND POLYMERS 4 S991-S994 2007年4月
Production of VHF plasma with large area using a ladder shaped electrode - VHF plasma production with narrow gap for solar cells

Y Kawai, T Takeuchi, H Mashima, Y Yamauchi, H Takatsuka

PLASMA PROCESSES AND POLYMERS 2(9) 695-701 2005年11月
Investigation of the electron energy distributions in Ar/N-2 ECR plasmas with magnetic mirror

H Muta, DH Thang, Y Kawai

VACUUM 74(3-4) 373-377 2004年6月
Control of the electron temperature by varying the resonance zone width in ECR plasma

N Itagaki, H Muta, N Ishii, Y Kawaii

THIN SOLID FILMS 457(1) 59-63 2004年6月
Electron-temperature dependence of nitrogen dissociation in 915 MHz ECR plasma

N Itagaki, S Iwata, K Muta, A Yonesu, S Kawakami, N Ishii, Y Kawai

THIN SOLID FILMS 435(1-2) 259-263 2003年7月
Observation of chaos caused by flute instability excited in electron cyclotron resonance plasma

M Koga, Y Kawai

PHYSICS OF PLASMAS 10(3) 650-654 2003年3月
Electron-temperature control in 915 MHz electron cyclotron resonance plasma

N Itagaki, Y Kawai, S Kawakami, N Ishii

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 20(6) 1969-1973 2002年11月
Dynamical control of the chaotic state of the current-driven ion acoustic instability in a laboratory plasma using delayed feedback

T Fukuyama, H Shirahama, Y Kawai

PHYSICS OF PLASMAS 9(11) 4525-4529 2002年11月
Experimental observation of dominant propagation of the ion-acoustic slow mode in a negative ion plasma and its application

R Ichiki, S Yoshimura, T Watanabe, Y Nakamura, Y Kawai

PHYSICS OF PLASMAS 9(11) 4481-4487 2002年11月
Dynamical control of the chaotic state of the current-driven ion acoustic instability in a laboratory plasma using delayed feedback

T Fukuyama, H Shirahama, Y Kawai

PHYSICS OF PLASMAS 9(11) 4525-4529 2002年11月
Controlling chaos in the current-driven ion acoustic instability

T Fukuyama, K Taniguchi, Y Kawai

PHYSICS OF PLASMAS 9(5) 1570-1574 2002年5月
Estimate of the negative-ion density in O-2/Ar ECR plasma utilizing ion acoustic waves

M Shindo, Y Kawai

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN 70(3) 621-623 2001年3月
ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用

応用物理 70(4) 438 2001年
負イオンを含む多成分プラズマ中のイオン波伝播特性

プラズマ・核融合学会誌 77(7) 730 2001年
Measurement of ion temperatures in a large-diameter electron cyclotron resonance plasma

Appl. Phys. Lett. 79(19) 3041-3043 2001年
Characteristics of Very-High-Frequency-Excited SiH₄ Plasmas

Jpn. J. Appl. Phys. 40(5A) 3405-3408 2001年
Production of Low-Electron-Temperature Electron Cyclotron Resonance Plasma Using Nitrogen Gas in the Mirror Magnetic Field

Naho Itagaki, Yoko Ueda, Nobuo Ishii, Yoshinobu Kawai

Jpn. J. Appl. Phys. 40(4A) 2489-2494 2001年

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書籍等出版物

Advanced Plasma Technology

Wiley-VCH 2008年 (ISBN: 9783527405916)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

非線形プラズマ波動現象

科学研究費補助金
ECRプラズマの大口径化

科学研究費補助金
大口径プラズマによるプラズマCVD

学術研究支援事業
大口径プラズマ源の開発

科学研究費補助金
Nonlinear plasma wave phenomena

Grant-in-Aid for Promotion of Private Scientific Research
Development of ECR plasma source

Grant-in-Aid for Promotion of Private Scientific Research
Development of plasma CVD

Grant-in-Aid for Promotion of Private Scientific Research
Production of large diameter plasma

Grant-in-Aid for Promotion of Private Scientific Research