大津康徳 (Yasunori Ohtsu) - マイポータル

基本情報

所属: 佐賀大学理工学系理工学部電気電子工学部門教授

学位: 博士(工学)(1997年3月佐賀大学)
工学修士(1991年3月佐賀大学)

J-GLOBAL ID: 200901036720841846
researchmap会員ID: 1000043556

外部リンク: http://www.ee.saga-u.ac.jp/plasma/index.html

プラズマプロセスに関する研究に従事。
放電・プラズマに関する技術指導に対応可能。

研究キーワード

研究分野

経歴

2020年4月 - 現在

佐賀大学, 海洋エネルギー研究所, 併任教授
2019年4月 - 現在

佐賀大学, 教育研究院自然科学域理工学系（理工学部電気電子工学部門）, 教授
2015年1月 - 2019年3月

佐賀大学大学院工学系研究科, 電気電子工学専攻, 教授
2007年4月 - 2014年12月

佐賀大学工学系研究科電気電子工学専攻准教授（職名変更）
2002年4月 - 2007年3月

佐賀大学理工学部助教授
1997年4月 - 2002年3月

佐賀大学理工学部講師
1991年4月 - 1997年3月

佐賀大学理工学部助手
1993年5月 - 1994年2月

名古屋大学大学院工学研究科文部省内地研究員

学歴

- 1991年

佐賀大学, 理工学研究科修士課程, 電気工学
- 1989年

佐賀大学, 理工学部, 電気工学

委員歴

2025年9月 - 現在

Springer Nature, Scientific Reports, Editorial Board Member
2025年6月 - 現在

(公財)日本工学教育協会, 委員（校閲）
2015年6月 - 現在

プラズマ・核融合学会, 九州・沖縄・山口支部幹事
2007年4月 - 現在

文部科学省技術政策研究所, 科学技術動向研究センター専門調査員
2018年4月 - 2026年3月

九州工学教育協会, 会員
2022年6月 - 2024年5月

プラズマ・核融合学会, 九州・沖縄・山口支部監査監事
2020年6月 - 2022年5月

プラズマ・核融合学会, 九州・沖縄・山口支部長
2019年6月 - 2020年5月

プラズマ・核融合学会, 九州・沖縄・山口支部庶務幹事
2015年4月 - 2018年3月

電気学会, 論文委員会幹事
2011年4月 - 2013年3月

IEEE Japan Chapter(NPS-05), Nuclear and Plasma Science Society Treasurer
2010年5月 - 2011年3月

電気学会, プラズマ技術委員会幹事
2010年4月 - 2010年5月

電気学会, プラズマ技術委員会幹事補
2009年10月

The members of the International Advisory Committee for the Plasma and Spectroscopy section of the Journal of Advanced Research in Physics, Al I Cuza University of Iasi, Romania
2009年8月

Committee Members of the Sixth Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT-6) December 14-16, 2009 Hsinchu, Taiwan, R.O.C
2009年

IEEE, 正員
2009年

平成２１年８月～ Committee Members of the Sixth Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT-6) December 14-16, 2009 Hsinchu, Taiwan, R.O.C
2009年

IEEE, Member
平成２１年１０月～The members of the International Advisory Committee for the Plasma and Spectroscopy section of the Journal of Advanced Research in Physics, Al I Cuza University of Iasi, Romania
平成２１年９月～平成２２年９月第71回応用物理学会学術講演会実行委員（長崎大学開催）
平成２１年８月３日～平成２３年３月３１日ＮＥＤＯ技術委員（研究評価委員会「次世代大型消費電力プラズマディスプレイ基盤技術開発分科会」委員）

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受賞

2024年5月

Journal of Vacuum Science and Tehchnology A, Featured Articles, AIP Publising
2022年9月

IOP trusted reviewer status, IOP publishing
2020年9月

IOP trusted reviewer status, IOP publishing
2020年3月

IOP publishing Outstanding Reviewer Award, IOP publishing
2017年5月

AIP Advances Editor's Picks, AIP Publising

論文

101

Role of anti-pole aligned hybrid multi-cusp magnetic field strength on hydrogen plasma ignition and confinement using radio-frequency powered hollow cathode discharge

Md, Hasibul Islam, Md Amzad Hossain, Yasunori Ohtsu

Physics of Plasmas 33(1) 013504-1-013504-16 2026年1月査読有り最終著者
Spatial structure of a radio-frequency magnetron plasma at various Ar gas pressures for hydrophobic film preparation with a fluoropolymer PFA target

Yasunori Ohtsu, Ryohei Kuno, Takeshi Yasunaga, Julian Schulze

Vacuum 244(Part A) 114889-1-114889-10 2026年1月査読有り筆頭著者責任著者
Impact of inductively coupled plasma injection on capacitively coupled plasma with a ring-shaped hollow cathode using methane and hydrogen mixture gases

Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru, Julian Schulze

Vacuum 237 114159-1-114159-9 2025年7月査読有り筆頭著者責任著者
Characterization of H2 plasma within RF-powered hollow cathode discharge equipped with hybrid multicusp magnetic field under varying inner-ring magnetic strength (Cover image selected)

Md Hasibul Islam, Yasunori Ohtsu

Journal of Vacuum Science & Technology A 43(4) 043007-1-043007-17 2025年6月16日査読有り最終著者
Effect of multi-cusp magnetic fields to generate a high-density hydrogen plasma inside a low pressure H2 cylindrical hollow cathode discharge

Md Hasibul Islam, Takeshi Uchida, Julian Schulze, Yasunori Ohtsu

Vacuum 227 113459-1-113459-9 2024年9月査読有り最終著者
Characteristics of a hybrid radio frequency capacitively and inductively coupled plasma using hydrogen gas

Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru, Julian Schulze

Journal of Vacuum Science and Technology B 42(4) 044204-1-044204-8 2024年7月1日査読有り筆頭著者責任著者
Production of a high-density hydrogen plasma in a capacitively coupled RF discharge with a hollow cathode enclosed by magnets (Featured Articles and Cover image selected)

Yasunori Ohtsu, Takeshi Uchida, Ryohei Kuno, Julian Schulze

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films 42(3) 033011-1-033011-9 2024年5月1日査読有り筆頭著者責任著者
Spatial distributions of the ion flux in a capacitive hydrogen RF discharge using a hollow cathode with double toroidal grooves enclosed by magnets

Yasunori Ohtsu, Hokuto Hiwatashi, Julian Schulze

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) 2023年9月1日査読有り
Spatial structures of rf ring-shaped magnetized sputtering plasmas with two facing cylindrical ZnO/Al₂O₃ targets

Yasunori Ohtsu, Kousuke Hara, Shoma Imoto, Julian Schulze, Takeshi Yasunaga, Yasuyuki Ikegami

Japanese Journal of Applied Physics 62(SI) SI1007-SI1007 2023年4月19日査読有り
Temporal evolution of the ion flux to the target in rotational RF multimagnetron plasma

Yasunori Ohtsu, Koya Yasuda, Julian Schulze

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films 40(5) 2022年9月1日査読有り
Development of a cruciform radio-frequency closed magnetron sputtering source including four sectorial magnetron sputtering discharges for uniform target utilization

Koya Yasuda, Yasunori Ohtsu, Julian Schulze

Vacuum 202 2022年8月査読有り最終著者
Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf> – ZnO targets

Yasunori Ohtsu, Godai Sakata, Julian Schulze, Takeshi Yasunaga, Yasuyuki Ikegami

Japanese Journal of Applied Physics 61(SI) 2022年7月査読有り
Properties of AZO thin films prepared by stationary and rotating RF magnetized plasma sputtering source

Md Amzad Hossain, Md Abdul Majed Patwary, Md Mustafizur Rahman, Yasunori Ohtsu

AIP Advances 12(1) 2022年1月1日査読有り
Characteristics of a radio frequency magnetized double-ring-shaped hollow cathode plasma source with permanent magnets for high-density hydrogen plasma generation

Yasunori Ohtsu, Shoma Imoto, Shunya Takemura, Julian Schulze

Vacuum 193 2021年11月査読有り
Preparation of Water-Repellent Film on a Plastic Plate by Unbalanced Radio-Frequency Magnetron Plasma Sputtering Using PTFE Target for a Next-Generation Automobile Window

Yasunori Ohtsu, Yuta Ino, Yuki Fujio, Tatsuo Tabaru, Takeshi Yasunaga, Yasuyuki Ikegami

Plasma Chemistry and Plasma Processing 41(6) 1631-1646 2021年9月15日査読有り
Development of rotational maze-shaped RF magnetron plasma for successful target utilization and thin-film preparation

Yasunori Ohtsu, Rei Tanaka, Takahiro Nakashima

Japanese Journal of Applied Physics 60 2021年1月査読有り
Characteristics of a rotational windmill-shaped radio frequency magnetron sputtering plasma for effective target utilization

Yasunori Ohtsu, Takahiro Nakashima, Rei Tanaka, Julian Schulze

Vacuum 181 2020年11月査読有り
Spatial structure of radio-frequency capacitive discharge plasma with ring-shaped hollow electrode using Ar and O2 mixture gases

Yasunori Ohtsu, Masaya Takasaki, Julian Schulze

Journal of Physics D: Applied Physics 52(35) 2019年8月査読有り筆頭著者
Observation of ring–shaped pulsed DC discharge plasma source using single pole magnet setups for material processing

Md. Amzad Hossain, M. A. Majed Patwary, M. M. Rahman, Bhuiyan, Yutaro, Nakamura, Kosei Sugawara, Yasunori Ohtsu

Radiation Effects and Defects in Solids 174(5-6) 380-396 2019年6月査読有り最終著者
Treatment of a polycarbonate plate for a next-generation vehicle window by radio frequency magnetron plasma sputtering using a PVDF target

Yasunori Ohtsu, Yusuke Takada, Kosei Sugawara, Yuki Fujio, Tatsuo Tabaru

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58(SE) 2019年6月査読有り

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MISC

146

低エンタルピー熱発電向けヘリンボーン型プレート式熱交換器の形状最適化(熱源側の熱伝達および圧力損失の考察)—Geometry optimization on herringbone plate heat exchangers for low-enthalpy heat energy conversion (Consideration of the performance of heat source heat transfer and pressure drop)

安永健, Kevin Fontaine, 大津康徳, 池上康之, Sathiabama T. Thirugnana, Abu Bakakar Jaafar

OTEC : 佐賀大学海洋エネルギー研究所報告 / 佐賀大学海洋エネルギー研究所編 (28) 63-73 2023年
円筒対向ターゲットスパッタのための高周波リング状ホロー磁化プラズマの生成

井本将真, 大津康徳

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.2 1609-1609 2021年8月26日
アンバランスマグネトロンスパッタ装置の構築とポリカーボネート板への PTFE 撥水性薄膜合成

井野雄太, 大津康徳, 安永健, 池上康之

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 1112-1112 2020年8月26日
ターゲット有効利用のための新規磁石配置による回転型高周波マグネトロンスパッタリング装置の開発

安田洸也, 大津康徳

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 1113-1113 2020年8月26日
ターゲット利用率向上を目的とした回転迷路型 RF マグネトロンスパッタ装置の開発とその評価

田中黎, 大津康徳, 中嶋崇博

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 1820-1820 2019年9月4日
アルゴン酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマによるポリイミドアッシングの特性

本田進之介, 大津康徳

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 1768-1768 2018年9月5日
ホロー陰極効果と磁場閉じ込め効果を用いた低気圧高密度水素プラズマ源の生成

麻生和希, 大津康徳

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 1711-1711 2018年9月5日
Outer Ring-Shaped Radio Frequency Magnetized Plasma Source for Target Utilization in Specific Area

Md Amzad Hossain, Yasunori Ohtsu

IEEE Transactions on Plasma Science 46(8) 2894-2900 2018年7月10日
RF magnetized ring-shaped plasma for target utilization obtained with circular magnet monopole arrangement

Md. Amzad Hossain, Yasunori Ohtsu

Japanese Journal of Applied Physics 57(1) 2018年1月1日
Atmospheric-pressure plasma jet system for silicon etching without fluorocarbon gas feed

Yasunori Ohtsu, Kenta Nagamatsu

Japanese Journal of Applied Physics 57(1) 2018年1月1日
Performance of a Gyratory Square-Shaped Capacitive Radio Frequency Discharge Plasma Sputtering Source for Materials Processing

Md. Amzad Hossain, Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru

PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING 37(6) 1663-1677 2017年11月
Rotational cross-shaped magnetized radio-frequency sputtering plasma source for uniform circular target utilization

Tsubasa Ide, Md. Amzad Hossain, Yutaro Nakamura, Yasunori Ohtsu

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 35(6) 2017年11月
Ar-O₂混合ガスを用いた高周波プラズマの空間構造

高崎雅也, 大津康徳, Julian Schulze

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 1708-1708 2017年8月25日
薄膜材料ターゲット有効利用のための回転型マグネトロンスパッタ装置の設計

中村優太朗, 大津康徳

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 1687-1687 2017年8月25日
Plasma characteristics and target erosion profile of racetrack-shaped RF magnetron plasma with weak rubber magnets for full circular target utilization

Yasunori Ohtsu, Shohei Tsuruta, Tatsuo Tabaru, Morito Akiyama

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 307(PB) 1134-1138 2016年12月
RFマグネトロンスパッタリングにより合成したPVDF薄膜の評価—Assessment of PVDF thin film prepared by RF magnetron sputtering—プラズマパルスパワー放電合同研究会放電,プラズマ,パルスパワー

高田祐輔, 菅原光星, 大津康徳

電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編] 2016(55-68) 1-3 2016年10月20日
High-density radio-frequency magnetized plasma sputtering source with rotational square-shaped arrangement of rod magnets for uniform target utilization

Md. Amzad Hossain, T. Ide, K. Ikari, Y. Ohtsu

VACUUM 128 219-225 2016年6月
Capacitive radio frequency discharges with a single ring-shaped narrow trench of various depths to enhance the plasma density and lateral uniformity

Y. Ohtsu, N. Matsumoto, J. Schulze, E. Schuengel

PHYSICS OF PLASMAS 23(3) 2016年3月
Sustaining mechanism and spatial structure of high-density ring-shaped hollow cuspate magnetized rf plasma for low-pressure plasma processing

Y. Ohtsu, T. Yanagise

PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY 24(3) 1-9 2015年5月
Observation of radio frequency ring-shaped hollow cathode discharge plasma with MgO and Al electrodes for plasma processing

Yasunori Ohtsu, Naoki Matsumoto

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 32(3) 2014年5月

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書籍等出版物

半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング-可視化・異常検知・高精度プロセス最適化-

(担当:共著, 範囲:第7章第7節ホロー電極を用いた高周波プラズマの高密度化とレジスト剥離の高速化)

技術情報協会 2026年6月30日 (ISBN: 9784867981566)
Characteristics of Novel Rotational Magnetron Sputtering Plasma Sources with Various Magnet Arrangements for Target Utilization Saving Resources

Y. Ohtsu, M. A. Hossain, J. Schulze (担当:共著, 範囲:5章)

Nova Science 2022年10月 (ISBN: 9798886973310)
Development of Novel RF Sputtering Plasma Source and Preparation of Al-Doped ZnO Thin Films for Transparent Conductive Oxide Applications

Yasunori Ohtsu, Takashi Sumiyama (担当:共著, 範囲:6章)

Nova Science 2019年9月 (ISBN: 9781536160864)
Physics of High-Density Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma with Various Electrodes and Its Applications

Yasunori Ohtsu

IntechOpen 2019年2月 (ISBN: 9781789852400)
「超撥水・超撥油・滑液性表面の技術」

大津康徳 (担当:共著, 範囲:第2章「超撥水性表面を形成する材料と表面処理技術」第7節「プラズマCVD法による超撥水性薄膜合成」)

サイエンス＆テクノロジー 2016年1月
精密加工と微細構造の形成技術

大津康徳 (担当:共著, 範囲:第4章第2節[5]プラズマコーティングによる基材への凹凸構造形成，撥水膜作製)

技術情報協会 2013年7月
Zirconium: Characteristics, Technology and Performance

大津康徳 (担当:共著, 範囲:Preparation of Zirconium Oxide Thin Film by Plasma Coating Method and its Hydrophobic Nature)

Nova Science Publishers 2012年6月
エレクトロニクス・エネルギー分野における超撥水・超親水化技術

大津康徳 (担当:共著, 範囲:第３章超撥水・超親水化技術とその制御、第1節コーティング技術による超撥水・超親水化技術、[９]プラズマコーティングによる超撥水性薄膜の合成技術)

株式会社技術情報協会 2012年5月
第５章薄膜製造における最近のトピックス、第１節「スハ゜ッタリンク゛におけるハ゜ーティクル発生機構とその抑制」

大津康徳

情報機構 2007年
ディスプレイ・光学部材における薄膜製造技術（共著）

情報機構 2007年 (ISBN: 9784901677837)

講演・口頭発表等

269

RFマグネトロンスパッタプラズマに及ぼすターゲット侵食分布の影響

井之上侑世, 大津康徳

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会8p-PB1-14 2026年9月8日
回転式マルチリング型RFマグネトロンスパッタプラズマによる均一なターゲット利用

古森正斗, 大津康徳

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会8p-PB1-13 2026年9月8日
水素ガス低圧下における高密度RF ホロー磁化プラズマの空間構造

後藤尚久, 大津康徳

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会8p-PB1-12 2026年9月8日
磁石内蔵型ホロー電極による容量結合型水素プラズマの高密度化

松吉宇宙, 大津康徳

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会8p-PB-11 2026年9月8日
ハイブリッドホロー電極と磁石を用いた高周波水素プラズマの生成

松下令旺, 大津康徳

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会8p-PB1-10 2026年9月8日
RFマルチホロー磁化AZOスパッタプラズマの空間構造

山縣実, 大津康徳

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会8p-PB1-9 2026年9月8日
RFアンバランスドマグネトロンプラズマの空間構造

三原智也, 大津康徳

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会8p-PB1-6 2026年9月8日
⾼周波ホロー磁化放電を⽤いた⾼密度⽔素プラズマの⽣成および空間分布解析

大津康徳, Md. Hasibul Islam, 田原竜夫, J. Schuzle

負イオン研究会2026およびイオンビーム生成技術研究会合同研究会 2026年8月21日
高密度負イオン源に向けた高周波ホロー磁化放電による水素プラズマ生成とその特性

大津康徳, Md Hasibul Islam, 田爪健吾, 田原竜夫, Julian Schulze

第16回核融合エネルギー連合講演会 2026年7月23日
Magnetic Confinement of Transitional High-Density T-shaped Hydrogen Plasma Inside RF-Powered CCP Discharge with a Double-Groove Hollow Cathode

Md Hasibul Islam, Yasunori Ohtsu

ISPlasma2026/IC-PLANTS2026, 06aB05O 2026年3月6日
Production of high-density hydrogen capacitive coupled plasma under a low pressure with hybrid hollow electrode including magnets for negative-ion sources

Yasunori Ohtsu, Kengo Tazume, Shota Kose, Hasibul Islam

ISPlasma2026/IC-PLANTS2026, 03p-01 2026年3月3日
Characteristics of RF hybrid plasma produced by capacitively and inductively coupled discharges using mixtures of hydrogen and methane for preparing carbon nano-walls

Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru, Julian Schulze

The 78th Annual Gaseous Electronics Conference 2025年10月14日
Influence of magnet arrangement on high-density hydrogen plasma produced by a capacitively coupled magnetized discharge using a hybrid hollow electrode under a lower gas pressure

Yasunori Ohtsu, Kengo Tazume, Hasibul Islam, Julian Schulze

The 78th Annual Gaseous Electronics Conference 2025年10月14日
Effect of Magnetic Pole Alignment in Hybrid Multi-Cusp Magnetic Fields on Hydrogen Plasma Behavior in an RF-Powered Hollow Cathode Discharge

Md Hasibul Islam, Yasunori Ohtsu

The 78th Annual Gaseous Electronics Conference 2025年10月14日
ハイブリッドホロー電極と磁石を用いた高密度RF 水素プラズマ生成に及ぼすガス圧力の影響

田爪健悟, 大津康徳

第86回応用物理学会秋季学術講演会 9p-P09-7 2025年9月9日
水素ガス低圧下における高密度RFホロー磁化プラズマの生成

後藤尚久, 大津康徳

第86回応用物理学会秋季学術講演会 9p-P09-6 2025年9月9日
アンバランスドRFマグネトロンプラズマ生成のための磁石配置と磁界分布の検討

三原智也, 大津康徳

第86回応用物理学会秋季学術講演会9p-P09-5 2025年9月9日
材料利用効率向上のための回転マグネトロンRFスパッタ装置の開発

梅田姫子, 大津康徳

第86回応用物理学会秋季学術講演会 9p-P09-10 2025年9月9日
ターゲット利用率の向上のための回転式マグネトロンRFスパッタプラズマの生成

古森正斗, 大津康徳

第86回応用物理学会秋季学術講演会 9p-P09-9 2025年9月9日
円筒型AZOターゲットを用いたマルチホロー磁化RFスパッタ装置の開発

山縣実, 大津康徳

第86回応用物理学会秋季学術講演会 9p-P09-8 2025年9月9日

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担当経験のある科目(授業)

2024年4月 - 現在

送配電工学 (佐賀大学)
2021年4月 - 現在

工業概論（教職科目） (佐賀大学)
2019年4月 - 現在

微分積分学 (佐賀大学)
2002年4月 - 現在

プラズマエレクトロニクス (佐賀大学)
2002年4月 - 現在

エレクトロニクスと環境（電気電子工学と環境：教養科目）
1997年4月 - 現在

プロセスプラズマ工学特論 (佐賀大学)
2014年4月 - 2020年3月

分布定数回路 (佐賀大学)
電子回路 (佐賀大学)
電磁気学 (佐賀大学)
電気回路 (佐賀大学)

所属学協会

Works(作品等)

ECRマイクロ波プラズマ中のイオンエネルギー分布計測に関する研究

2001年 - 現在
臭素回収方法およびその装置

池田進, 大津康徳, 三沢達也

2010年11月 - 2010年11月
オゾン発生方法および装置

藤田寛治, 豊福正治, 大津康徳

2003年 - 2003年

共同研究・競争的資金等の研究課題

らせんステップ型低速電子高放出によるヘリウムのイオン・イオンプラズマ生成

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 2023年6月 - 2026年3月

大津康徳
高出力負イオン源実現に向けた新規ホロー磁化放電による高密度水素プラズマの生成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2022年4月 - 2026年3月

大津康徳, 田原竜夫
高出力負イオン源実現に向けた新規ホロー磁化放電による高密度水素プラズマの生成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2022年4月 - 2026年3月

大津康徳, 田原竜夫
スモラッコウスキー効果によるネオリングホロー磁化放電の確立と負イオン生成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月

大津康徳
低気圧高密度均一プラズマ源のためのネオ磁場配位型リングホロー磁化放電の新展開

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2016年4月 - 2019年3月

大津康徳, 田原達夫, シュルツジュリアン, ホッサインマハムッドアムザッド, 住山貴史, 井手翼, 中村優太朗
ハイブリッドリングホロー放電の確立と大面積高密度均一プラズマ源への応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2011年 - 2013年

大津康徳
リング状ホロー放電のマルチ化による高精度プラズマプロセス装置の開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/探索タイプ 2011年 - 2011年

大津康徳
高2次電子放出・強誘電体酸化物電極による高圧気体マイクロプラズマ低エネルギー生成

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2006年 - 2007年

藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也
新方式プラズマスパッタリング装置の開発

2007年
Development of high density uniform sputtering plasma source

2007年
電子レンジ・携帯電話にみる電磁波体験型科学創造性育成法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2005年 - 2006年

藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也
プラズマスパッタリングによる高温圧電素子薄膜の高速合成

2006年
大気圧プラズマによるバイオ応用

2006年
新医療福祉機器を目指した大気圧室温プラズマ生成

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2004年 - 2005年

大津康徳
Bacillus spores sterilization using low temperature oxygen plasma or atmospheric pressure plasma

2005年
酸化物電極容量結合型放電による高効率高密度プラズマ生成とその展開

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(A) 2003年 - 2004年

大津康徳
生徒体験型オーロラ実験に関する教材開発

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2003年 - 2004年

藤田寛治, 大津康徳, 三沢達也
高角度分解能アナライザによる模擬ダイバータプラズマイオン2次元速度空間構造解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2002年 - 2003年

藤田寛治, 大津康徳
電子ビーム注入による浮遊微粒子の空間分布制御

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2001年 - 2002年

大津康徳
プラズマＣＶＤ法による超撥水性薄膜合成

2000年

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産業財産権

特許6030867 プラズマ処理装置

大津康徳
オゾン発生方法および装置

大津康徳

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