藤山寛 (Hiroshi Fujiyama) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 長崎大学大学院生産科学研究科教授

学位: 工学博士(九州大学)

J-GLOBAL ID: 200901018544311497
researchmap会員ID: 1000044096

外部リンク: http://www.eee.nagasaki-u.ac.jp/plasma/index.htm1

研究キーワード

2

研究分野

2

学歴

2

- 1977年

九州大学, 工学研究科, 電気工学
- 1977年

九州大学

委員歴

3

2002年 - 2003年

プラズマ・核融合学会, エディタ、プログラム委員
2001年 - 2002年

電気学会, 九州支部協議員
1996年 - 1997年

応用物理学会, 編集委員,九州支部理事,プラズマエレクトロニクス分科会幹事,プラズマエレクトロニクス分科会副幹事長、幹事長、評議員

受賞

1

1989年

科学技術庁長官賞(注目発明)

MISC

101

反応性電離スパッタリングを用いたMgO堆積

Thin Solid Films 435(1-2) 154-160 2003年7月
Development of high frequency micro plasma source in a magnetic field

M Matsushita, Y Matsuda, H Fujiyama

THIN SOLID FILMS 435(1-2) 285-287 2003年7月
MgO deposition using reactive ionized sputtering

Y Matsuda, Y Koyama, K Tashiro, H Fujiyama

THIN SOLID FILMS 435(1-2) 154-160 2003年7月
磁界中高周波マイクロプラズマ源の開発

Thin Solid Films 435 285-287 2003年
Quantitative modeling of reactive sputtering process for MgO thin film deposition

Y Matsuda, K Otomo, H Fujiyama

THIN SOLID FILMS 390(1-2) 59-63 2001年6月
Large-area uniform dust-free plasma CVD

H Fujiyama, Y Maemura, T Yamaguchi

THIN SOLID FILMS 390(1-2) 76-82 2001年6月
a-Si : H film deposition using same phase modulated scanning plasma method

Y Maemura, T Yamaguchi, SC Yang, H Fujiyama

THIN SOLID FILMS 374(2) 274-277 2000年10月
Preparation of multi-layer carbon nitride films by alternate processes of magnetron sputtering and ion beam implantation

T Shibata, YS Jin, Y Matsuda, H Fujiyama

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 131(1-3) 428-432 2000年9月
Inner coating of long-narrow tube by plasma sputtering

H Fujiyama

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 131(1-3) 278-283 2000年9月
マイクロプラズマによる細管内面コーティング

プラズマ、核融合学会誌 76(5) 465-470 2000年
Transport Phenomena in Magnetized Dusty Plasmas : Physics and Applications

J. Accel. Plasma Res. 5 302-308 2000年
Inner Coating of Slender Tubes by Micro Plasmas

Journal of Plasma and Fusion Research 76(5) 465-470 2000年
Characteristics of Scanning Magnetic Field-Type Coaxial ECR Plasma for Inner Coating of slender Tubes

Electrical Engineering in Japan 130(2) 18-23 2000年
Two-dimensional spatial distributions of sputtered particles produced in a planar magnetron discharge of indium-tin-oxide target

Y Matsuda, M Muta, H Fujiyama

THIN SOLID FILMS 345(1) 167-171 1999年5月
Temperature measurement of polymer substrates during plasma irradiation

K Yamamoto, T Harada, N Tomikawa, H Uyama, SC Yang, H Fujiyama

THIN SOLID FILMS 345(1) 94-98 1999年5月
Correlation between silicon particles and modulated crossed magnetic field in silane plasmas

K Tazoe, SC Yang, Y Maemura, M Ohtsu, H Fujiyama

THIN SOLID FILMS 341(1-2) 55-58 1999年3月
走査プラズマ法を用いた高分子材料の大面積均一表面処理

38(7B) 4527-4530 1999年
細管内壁コーティング用同軸マグネトロンパルスプラズマにおける拡張陽極効果

38(7B) 4342-4345 1999年
細いガラス管内壁コーティング用ミラー磁界型同軸電子サイクロトロン共鳴プラズマの特性

38(7B) 4338-4341 1999年
マイクロ波ヘリウムプラズマ中のフラーレン質量分析強度とカーボン振動温度の関係

38(7B) 4512-4514 1999年

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書籍等出版物

7

Microwave Plasma Technology

Ohmsha 2003年
マイクロ波プラズマの技術

オーム社 2003年
Microwave Plasma Technology

Ohmsha 2003年
先端電気化学

丸善 1994年
Advanced Electrochemistry

1994年
最新プラズマ発生技術

アイ・ピー・シー出版 1991年
Advanced Plasma Generation for Plasma Processings

1991年

所属学協会

4

Works(作品等)

3

高分子フィルムへの薄膜形成

2001年
Thin Film Deposition on Polymer Films

2001年
細管内壁コーティング

1996年 - 1997年

共同研究・競争的資金等の研究課題

14