正木 進

円筒型マグネトロンガスフロースパッタ源を用いた窒化炭素薄膜の光学的特性(共著) 

電気化学会第68回学術大会シンポジウム「粒子線を用いた次世代プロセス技術」論文集 75-80 2001年  

Optical properties of CN_x thin films by Cylindrical Magnetron Gas Flow sputtering Saurce 

75-80 2001年  

円筒型マグネトロンガスフロースパッタリング源を用いたCN_x薄膜の形成-フローゲス種による光学的特性変化-(共著) 

第11回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム 69-72 2000年  

Si doped glass light emitter within on optical cavity fabricated by ion beam sputter-deposition (共著) 

Thin Solid Films 377/378 87-91 2000年  

Deposition of CN_x Thin Films by the Cylindrical Magnetron Gas Flow Sputtering Technique-Difference of Optical Properties by the gas species- 

Proceedings of the 11th symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses 69-72 2000年  

FeSi薄膜の成膜と評価(共著) 

第10回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム 159 1999年  

IBSD法による可視域発光Si/酸化物複合薄膜の作成(共著) 

第10回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム 149 1999年  

反応性イオンビームスパッタ法によるAlN膜形成(共著) 

第10回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム 145 1999年  

イオンビーム スパッタ法により成膜した合金膜の評価 

電気化学会シンポジウム 粒子線を用いた次世代プロセス技術論文集 29 1999年  

FeSi薄膜の成膜と評価(共) 

電気化学会シンポジウム 粒子線を用いた次世代プロセス技術論文集 23 1999年  

Study of Nanostructured FeSi Films Deposited by the Cluster-Beam Technique 

Proceedings of the Tenth Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses 159 1999年  

Formation of Visible Region Luminescent Si/oxide Composite Films Using Ion Beam sputter-Deposition technique 

Proceedings of the Tenth Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses 149 1999年  

Fabrication of AlN Films by Reactive-Ion-Beam-Sputtered Deposition 

Proceedings of the Tenth Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses 145 1999年  

Study of alloy films by ion-beam sputtering technique 

29 1999年  

Study of Nanostructured FeSi Films Deposited by the Cluster-Beam and Gas-Evaporation Technique 

23 1999年  

Palladium silicide/oxide formations in Pd/SiO₂ complex films. (共) 

thin solid films 343/344 119-122 1999年  

IBSD法による金属/SiO₂複合薄膜の作成(共) 

第9回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム 147 1998年  

イオンビーム法による硬質炭素膜の成膜(共) 

第9回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム 123 1998年  

熱電子発電器のエミッタ形成(共) 

第9回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム 49 1998年