武田 文雄

Dependence of Composition Distribution of NiTi Sputtered Films on Ar Gas Pressure 

Jpn. J. Appl. Phys. 40(12), 6936-6940 2001年  

Dependence of Composition Distribution of NiTi Sputtered Films on Ar Gas Pressure 

Jpn. J. Appl. Phys. 40(12), 6936-6940 2001年  

複合ターゲットを用いてスパッタにより形状記憶合金膜を作成する際の組成制御 

日本応用物理学会 39(10) 5992-5994 2000年  

Composition Control of NiTi Snape Memory Alloy Films Formed by Sputter Deposition with a Composite Target. 

Jpn. J. Appl. Phys. 39(10) 5992-5994 2000年  

Composition Control of NiTi Shape Memory Alloy Films by Sputtering 

The Fifth International Symposium on Sputtering and plasma processes(ISSP'99) 75-76 1999年  

スパッタによるTi-Al組成傾斜膜の作成 

固体薄膜 316(1/2) 68-72 1998年  

High Coupling and High Velocity SAW Using ZnO and AlN Films on a Glass Substrate. 

IEEE 1986年  

High Velocity and High Coupling Surface Acoustic Waves Using ZnO Films on Ceramic Substrate with High Acoustic Velocity. 

Jpn. J. Appl. Phys. 24 1985年  

High Coupling and High Velocity Surface Acoustic Waves Using a c-Axis Oriented ZnO Film on Translucent Al₂O₃ Ceramics. 

Appl. Phys. Letters 43 1983年  

反応性DCマグトロンスパッタによるC軸配向AlN膜の作製 

電気学会論文誌 101(9) 483-488 1981年  

Effect of Hydrogen Gas on c-Axis Oriented AlN Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering. 

Jpn. J. Appl. Phys. 20(3) 1981年  

Low Temperature Deposition of Oriented c-Axis AlN Films on Glass Substrate by Reactive Magnetron Sputtering. 

Jpn. J. Appl. Phys. 19(5) 1001-1002 1980年