沖村邦雄 (Kunio Okimura) - マイポータル

基本情報

所属: 東海大学工学部電気電子工学科教授

学位: 博士（工学）(九州大学)
-

研究者番号: 00194473
J-GLOBAL ID: 200901012647822777
researchmap会員ID: 1000141075

外部リンク: http://www.ei.u-tokai.ac.jp/Okimura-lab/

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研究分野

経歴

学歴

委員歴

2018年4月 - 現在

日本表面真空学会, 協議員
2015年4月 - 2018年3月

日本真空学会, 理事
2014年4月 - 2018年3月

日本真空学会, スパッタリング&プラズマプロセス技術部会部会長
2010年4月 - 2014年3月

日本真空学会, スパッタリング&プラズマプロセス技術部会副部会長
2006年6月 - 2010年3月

日本真空協会, スパッタリング＆プラズマプロセス部会幹事
2006年

真空協会スパッタリング＆プラズマプロセス部会委員(2006,June-)
1996年

電気学会, 北陸支部協議員
日本真空協会, 研究部会委員
真空協会研究部会委員

受賞

2017年9月

ベストポスター賞, 相転移VO2における金属的状態間を遷移する発振現象, 応用物理学会

青戸智寛, 沖村邦雄
2017年7月

Best Poster Award on 14th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP), Growth of VO2 thin films on transparent conductive Al-doped ZnO films on glass substrates, 日本真空学会SP部会主催ISSP国際会議

Hiroaki Hoshino, Kenta Sato, Md.Suruz Mian, Yoshio Yasumori, Kunio Okimura
2017年3月

ベストポスター賞, VO2/TiN/Ti/Si積層構造デバイスにおけるマルチステップ発振, 応用物理学会

青戸智寛, 佐藤賢太, モハメドシュルズミヤ, 沖村邦雄
2015年11月

Best Poster Award (First Place) on IUMRS-ICAM in Jeju

沖村邦雄
2015年11月

Best Poster Award on IUMRS-ICAM in Jeju

沖村邦雄
2015年7月

Best Poster Award on ISSP2015 in Kyoto

沖村邦雄
2014年6月

Best Poster Award on IUMRS-ICAM in Taiwan

沖村邦雄
2006年9月

Best Paper Award on IUMRS-ICA-2006, Korea

沖村邦雄
2006年

Best Paper Award in IUMRS-ICA-2006, held in Korea
1991年

電気学会論文発表賞B

論文

125

Reversible modulations of insulator–metal transition in an epitaxial VO2 film through thermal crystallization and femtosecond laser-induced-amorphization of capping Ge2Sb2Te5 layer

Takuto Ohnuki, Kunio Okimura, Yiqi Liu, Shoya Inagaki, Yuji Muraoka, Joe Sakai, Aiko Narazaki, Masashi Kuwahara

Journal of Applied Physics 136(8) 2024年8月28日
Broadband and efficient terahertz helicity inversion by a reconfigurable reflective metasurface based on vanadium dioxide

Akira Inokuma, Keisuke Takano, Toshihiro Nakanishi, Fumiaki Miyamaru, Kunio Okimura, Atsushi Sanada, Yosuke Nakata

Applied Physics Letters 125(8) 2024年8月19日
Observation of transient aspects of self-sustained oscillations and the role of parallel capacitance in VO2-based planar devices

Junpei Kidokoro, Md. Suruz Mian, Lamisa Hoque, Peng Yu, Kunio Okimura, Toshihiro Nakanishi

Journal of Applied Physics 136(6) 2024年8月9日
Modulation of insulator metal transition of VO₂ films grown on Al2O3 (001) and TiO2 (001) substrates by the crystallization of capping Ge2Sb2Te5 layer

Takuto Ohnuki, Kunio Okimura, Reki Nakamoto, Yuji Muraoka, Joe Sakai, Masashi Kuwahara

Journal of Applied Physics 134(24) 2023年12月22日
Study on Relation Between Voltage-induced Switching Behavior and Self-sustained Electrical Oscillations in Vanadium Dioxide Thin Films

Lamisa Hoque, Md. Suruz Mian, Kunio Okimura, Toshihiro Nakanishi

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 21(4) 324-330 2023年5月13日
Improvement of the uniformity of structural and electrical properties of transparent conductive Al-doped ZnO thin films by inductively coupled plasma-assisted radio frequency magnetron sputtering

Md. Suruz Mian, Takeo Nakano, Kunio Okimura

Thin Solid Films 769 139752-139752 2023年3月査読有り責任著者
High luminous transmittance and solar modulation of VO2-based smart windows with SiO2 anti-reflection coatings

Kunio Okimura, Md. Suruz Mian, Iwao Yamaguchi, Tetsuo Tsuchiya

Solar Energy Materials and Solar Cells 251 112162-112162 2023年3月査読有り筆頭著者責任著者
VO₂ films on flexible thin polyimide films: Fabrication and characterization of electrical and optical properties in insulator-metal transition

Yuta Miyatake, Yukito Ozawa, Kunio Okimura, Toshihiro Nakanishi

Journal of Vacuum Science & Technology A 40(4) 043406-043406 2022年7月査読有り責任著者
Dynamic inversion of planar-chiral response of terahertz metasurface based on critical transition of checkerboard structures

Yoshiro Urade, Kai Fukawa, Fumiaki Miyamaru, Kunio Okimura, Toshihiro Nakanishi, Yosuke Nakata

Nanophotonics 2022年1月11日査読有り
Dynamic Quarter‐Wave Metasurface for Efficient Helicity Inversion of Polarization Beyond the Single‐Layer Conversion Limit

Mitsuki Kobachi, Fumiaki Miyamaru, Toshihiro Nakanishi, Kunio Okimura, Atsushi Sanada, Yosuke Nakata

Advanced Optical Materials 2101615-2101615 2021年11月5日査読有り
Electrochemical Probing of H2O2 Using TiO2-ZrO2-HfO2 Modified Glassy Carbon Electrode: A Promoted Sacrificial Behavior of Hf4+ ions

Akshay Krishnakumar, Parthasarathy Srinivasan, Ganesh Kumar Mani, Rio Kita, Kunio Okimura, John Bosco Balaguru Rayappan, Kazuyoshi Tsuchiya

WATER AIR AND SOIL POLLUTION 232(7) 2021年7月査読有り
Approaching ultrathin VO2 films on sapphire (001) substrates by biased reactive sputtering: Characteristic morphology and its effect on the infrared-light switching

Kunio Okimura, Joe Sakai, Masashi Kuwahara, Mustapha Zaghrioui, Yoichi Uehara

Journal of Vacuum Science & Technology A 39(4) 043401-043401 2021年7月査読有り筆頭著者責任著者
Stress-Induced In Situ Modification of Transition Temperature in VO2 Films Capped by Chalcogenide

Joe Sakai, Masashi Kuwahara, Kunio Okimura, Yoichi Uehara

Materials 13(23) 5541-5541 2020年12月4日査読有り
Broadband operation of active terahertz quarter-wave plate achieved with vanadium-dioxide-based metasurface switchable by current injection

Toshihiro Nakanishi, Yosuke Nakata, Yoshiro Urade, Kunio Okimura

Applied Physics Letters 117(9) 091102-091102 2020年8月31日査読有り最終著者
Coupled oscillations of VO2-based layered structures: Experiment and simulation approach

Ryuta Tobe, Md. Suruz Mian, Kunio Okimura

Journal of Applied Physics 127(19) 195103-195103 2020年5月21日査読有り最終著者責任著者
Simultaneous realization of infrared-light switching and high visible-light transmittance in extremely thin VO2 films grown on ZnO-nanorods buffered glasses

Tatsuro Fukuzumi, Fei Chen, Kunio Okimura, Iwao Yamaguchi, Tetsuo Tsuchiya

Journal of Vacuum Science & Technology A 38(3) 033407-033407 2020年5月査読有り責任著者
Broadband helicity switching for terahertz waves using anisotropically deformed checkerboard metasurface with vanadium dioxide

T. Nakanishi, Y. Nakata, Y. Urade, K. Okimura

2019 13th International Congress on Artificial Materials for Novel Wave Phenomena, Metamaterials 2019 X266-X268 2019年9月査読有り
バナジウム酸化物薄膜の絶縁体－金属転移に基づく自励発振現象

沖村邦雄, 青戸智寛, 戸部龍太, モハメドジュルズミヤ

62(6) 332-337 2019年6月査読有り
Persistent M2 phase in strongly strained (011)-oriented grains in VO<inf>2</inf> films grown on sapphire (001) in reactive sputtering

Kohei Matsuoka, Kunio Okimura, Nurul Hanis Azhan, Mustapha Zaghrioui, Joe Sakai

Journal of Applied Physics 125(16) 165304 2019年4月査読有り
Reconfigurable Terahertz Quarter-Wave Plate for Helicity Switching Based on Babinet Inversion of an Anisotropic Checkerboard Metasurface

Yosuke Nakata, Kai Fukawa, Toshihiro Nakanishi, Yoshiro Urade, Kunio Okimura, Fumiaki Miyamaru

Physical Review Applied 11(4) 044008 2019年4月査読有り

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MISC

誘導結合プラズマ支援RFスパッタリングによるZnO(N)薄膜作製と評価

石井優輝, 菊地壮太郎, 榊晃佑, 金子哲也, 金子哲也, 沖村邦雄, 沖村邦雄, 進藤春雄, 磯村雅夫, 磯村雅夫

薄膜太陽電池セミナー 7th 84 2016年
ガラス基板上への相転移酸化物薄膜成長とヒステリシスメモリー素子開発

沖村邦雄

財団法人日本板硝子材料工学助成会成果報告書 Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering report (32) 41-46 2011年
プラズマアシスト光CVD法による絶縁膜堆積

堀井直宏, 井上昭浩, 沖村邦雄

真空に関する連合講演会講演予稿集 43rd 2002年
プラズマアシスト光CVD法を用いた絶縁膜堆積

堀井直宏, 井上昭浩, 坂井良治, 西端裕樹, 嶋田しょう, 沖村邦雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th(1) 2002年
紫外線および酸化チタン光触媒による有機系ガスの気相分解

沖村邦雄, 佐藤仁子, 高橋努, 中村忠, 堀井直宏, 井上昭浩

真空 44(3) 382-382 2001年3月20日
反応性スパッタ法により作成した酸化チタン薄膜の光触媒効果

沖村邦雄, 荒川知洋, 竹澤英朗, 中村忠

真空 43(3) 422-422 2000年3月20日
真空紫外光CVD法によって堆積したSiO₂膜の評価

西端裕樹, 堀井直宏, 井上昭浩, 沖村邦雄

真空に関する連合講演会講演予稿集 41st 2000年
Xe₂エキシマーランプを用いた光CVD法によるSiO₂膜堆積

堀井直宏, 西端裕樹, 井上昭浩, 沖村邦雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 47th(2) 2000年
Xe₂エキシマー光CVD法を用いたSiO₂膜堆積における膜中不純物

堀井直宏, 西端裕樹, 井上昭浩, 沖村邦雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集 61st(2) 2000年
プラズマ中へのXe₂エキシマーランプ照射が気相種に与える影響

堀井直宏, 沖村邦雄, 井上昭造

真空に関する連合講演会講演予稿集 40th 1999年
Tetraethoxysilaneを用いたプラズマ化学蒸着法における気相での酸化分解過程

堀井(前田)直宏, 沖村邦雄, 柴田明

真空に関する連合講演会講演予稿集 39th 1998年
Si基板上TiN膜の結晶性に与えるRF出力とAr:N₂流量比の影響

柴田明, 堀井直宏, 沖村邦雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集 59th(2) 1998年
Tetraethoxysilaneを用いたプラズマCVD法における気相分解過程

前田直宏, 沖村邦雄, 柴田明

電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 117(8) 852-857 1997年8月
TiO_2薄膜堆積用RFマグネトロンスパッタプロセスの気相診断

沖村邦雄, 柴田明, 橘邦英

電気学会研究会資料. EP, プラズマ研究会 1995(107) 105-113 1995年11月27日

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

二酸化バナジウムメタ表面を用いたテラヘルツスマート反射板の創成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2023年4月 - 2027年3月

中田陽介, 沖村邦雄
相転移VO2素子群のモデリング解析とテラヘルツ波の高速変調への応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2021年4月 - 2024年3月

沖村邦雄, 中西俊博
相転移酸化物薄膜の面直方向スイッチングに基づく低電圧発振素子に関する研究

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(C) 2015年4月 - 2018年3月

沖村邦雄
大規模マイクロ波ラインプラズマの生成技術に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2008年 - 2010年

進藤春雄, 沖村邦雄
耐環境性を有する高靱性セラミックス及びサーメット厚膜の開発研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1998年 - 2000年

安丸尚樹, 太田泰雄, 伊部壽夫, 沖村邦雄
環境映像も含む自然放射線経路分布測定システムの試作と放射線教育への利用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1996年 - 1997年

前多信博, 高木克明, 荒川正和, 平井恵子, 沖村邦雄
プラズマ窒化とクロム系高靱性セラミック及びサ-メット厚膜による高機能複合表面処理

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1996年 - 1997年

安丸尚樹, 伊部壽夫, 沖村邦雄
He希釈RFスパッタによるルチル型TiO_2結晶の低温成長とその機構解明

日本学術振興会科学研究費助成事業奨励研究(A) 1995年 - 1995年

沖村邦雄
ガス導入真空容器内のガス密度分布の測定と効率的排気法の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業試験研究(B) 1995年 - 1995年

前多信博, 桜井充, 佐藤匡, 沖村邦雄
ECR高密度プラズマによる窒化とセラミック膜を複合させた表面高機能化処理

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(C) 1994年 - 1995年

安丸尚樹, 出原敏孝, 田中茂利, 沖村邦雄
プラズマ中蒸発Ti原子のポストイオン化によるTiO_2ルチル作成の試み

日本学術振興会科学研究費助成事業奨励研究(A) 1993年 - 1993年

沖村邦雄
Preparation of thin films by sputtering method
Study on Inductively Coupled Plasmas
Preparation of Thin Films by Plasma CVD.
Preparation of Thin Films by Magnetron Sputtering

産業財産権

特願2007-038800 メモリー素子の製造方法およびメモリー素子

沖村邦雄, 笹川裕介
特願2006-49147 二酸化バナジウム薄膜製造装置、二酸化バナジウム薄膜製造方法、スイッチング素子製造方法、およびスイッチング素子

沖村邦雄, 久保直崇

沖村邦雄

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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