特許権 半導体装置の製造方法 三菱電機株式会社 石丸 和博, 菅野 弘樹, 岸部 健治 出願番号 特願平3-173675 出願日 1991年7月15日 公開番号 特開平5-021402 公開日 1993年1月29日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903055598585495URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903055598585495 ID情報 J-Global ID : 200903055598585495