2002年5月 スパッタリング法によるすず・ニッケル積層薄膜の加熱による合金化 日本熱処理技術協会講演大会講演概要集 小林達正, 兼松秀行, 吉武道子, 沖猛雄 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 URLhttp://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902122178573020