鹿間共一 (Tomokazu Shikama) - マイポータル

基本情報

MOS界面における LPV効果に関する研究

鹿間共一

姫路工業大学 1982年3月
Experimental Verification of the Small-Signal Theory of the Lateral Photo- voltaic Effect in MOS Structures

T SHIKAMA, K HAYASHI, H NIU, M TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(1) 55 - 61 1984年査読有り
Lateral Photo-voltaic Effect in the Weakly Inverted and in the Depleted MOS Interface Layers

Tomokazu SHIKAMA, Hirohiko NIU, Munezou TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(10) 1314 - 1319 1984年査読有り
Lateral Photo- voltaic Measurements of Electrical Properties of SiAl:H/n-Type Si Structures

T SHIKAMA, Y OKADA, T HAMANA, H NIU, T MATSUDA, M TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(12) L880 - L882 1984年査読有り
High Conductive p-Type Films of Si１００－ｘAlｘ:H Fabricated by Co- Sputtering and Subsequent Annealing

H NIU, YOSHIZAWA, I, T SHIKAMA, T MATSUDA, M TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(1) L18 - L20 1984年査読有り

Effect of O2 gas flow rate and RF power on Zinc oxide films made by the atmospheric pressure cold plasma method

鹿間共一

6th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON TECHNOLOGY FOR SUSTAINABILITY, 6 October 2016. 2016年10月
電気系基礎科目における解答の書き方指導の取組みとその効果

雛元洋一, 柿元健, 太良尾浩生, 辻正敏, 重田和弘, 鹿間共一

高専教育 (38) 146 - 151 2015年4月査読有り
Effect of Past-Annealing on Microstructure of ZnO Thin Films Prepared Using Atmospheric Pressure Cold Plasma

Jinlong Du, Sota Hasegawa, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, YAMAGUCHI Kenzo, SUZAKI Yoshifumi

Plasma Application and Hybrid Functionally Materials 24 72 2015年3月査読有り
原子状水素を用いたイオン注入レジストの除去性と硬さ

山本雅史,鹿間共一,長岡史郎,西山聖,堀邊英夫

第11回Cat-CVD研究会（仙台），41-42（2014）． 2014年12月
The preparation of ZnO/AZO thin films using atmospheric pressure cold plasma

Tomonori Sakoda, Tomokazu Shikama

NANO-SciTech 2014 & IC-NET 2014 30 2014年3月

大気圧低温プラズマより作製したAZO/ZnO/ZnO薄膜の水添加による膜特性の変化

櫻又慎太朗, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2018年9月15日
大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO膜に対する核生成時スイープ速度の影響

岡田修一郎, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017年9月16日
大気圧低温プラズマを用いて作製したAZO/ZnO膜の水添加による特性変化

石原匠, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017年9月16日
水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性

城井智弘, 山本雅史, 長岡史郎, 鹿間共一, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年3月1日
大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去

高井智基, 山本雅史, 鹿間共一, 長岡史郎, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日