鹿間共一 (Tomokazu Shikama) - マイポータル

基本情報

所属: 香川高等専門学校電気情報工学科教授

学位: 工学博士(姫路工業大学)

J-GLOBAL ID: 200901041910074608
researchmap会員ID: 1000142331

研究キーワード

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学 /

学歴

論文

MOS界面における LPV効果に関する研究

鹿間共一

姫路工業大学 1982年3月
Experimental Verification of the Small-Signal Theory of the Lateral Photo- voltaic Effect in MOS Structures

T SHIKAMA, K HAYASHI, H NIU, M TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(1) 55-61 1984年査読有り
Lateral Photo-voltaic Effect in the Weakly Inverted and in the Depleted MOS Interface Layers

Tomokazu SHIKAMA, Hirohiko NIU, Munezou TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(10) 1314-1319 1984年査読有り
Lateral Photo- voltaic Measurements of Electrical Properties of SiAl:H/n-Type Si Structures

T SHIKAMA, Y OKADA, T HAMANA, H NIU, T MATSUDA, M TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(12) L880-L882 1984年査読有り
High Conductive p-Type Films of Si１００－ｘAlｘ:H Fabricated by Co- Sputtering and Subsequent Annealing

H NIU, YOSHIZAWA, I, T SHIKAMA, T MATSUDA, M TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 23(1) L18-L20 1984年査読有り
Measurement of MOS Leakage Conductance by Means of the Lateral Photo-voltaic Effect

Tomokazu SHIKAMA, Hirohiko NIU, Munezo TAKAI

Japanese Journal of Applied Physics 24(1) 45-50 1985年査読有り
Study of Elect- rical Properties in Semiconductor Thin-Layers by Means of the Lateral Photo-voltaic Effect

鹿間共一

姫路工業大学 1985年3月
Mechanical and optical properties of TiN CVD-film on ceramic

中村茂昭, 吉岡捷爾, 平野俊雄, 山本斌曠, 須崎嘉文, 鹿間共一, 吹田義一

Chemistry Express 5(5) 309-312 1990年5月査読有り
スパッタ法により作製したa-SiC:H薄膜中の水素の熱放出

須崎嘉文, 渡部平司, 吹田義一, 鹿間共一, 芳井熊安, 川辺秀昭

日本金属学会誌 56(9) 985-990 1992年査読有り
Structure and quantum size effect of a-Si(:H)/ a-SiC(:H) multilayer films

Y SUZAKI, T SHIKAMA, H KAKIUCHI, A TAKEUCHI, K YOSHII, H KAWABE

Journal of Magnetism and Magnetic Materials, Vol.126, p.22-24 126(1-3) 22-24 1993年9月査読有り
スパッタ法により作製したa-Si(H)/a-SiC(H)超格子薄膜の量子井戸効果 (共著)

須崎嘉文, 鹿間共一, 垣内弘章, 芳井熊安, 川辺秀昭

精密工学会誌 60(3) 393-396 1994年
Quantum Size Effects of a-Si(H)/a-SiC(H)Multilayer Films Prepared by rb Sputterig

Yoshifumi SUZAKI, Tomokazu SHIKAMA, Hiroaki KAKIUCHI, Kumayasu YOSHII, Hideaki KAWABE

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 60(3) 393-396 1994年
Concentration and thermal release of hydrogen in amorphous silicon carbide films prepared by rf sputtering

Y. Suzaki, T. Shikama, S. Yoshioka, K. Yoshii, K. Yasutake

Thin Solid Films Vol.311,p. 207-211 311(1-2) 207-211 1997年12月31日査読有り
イオンビームスパッタリング法によるITO薄膜の低温成膜におけるイオンビーム照射効果

須崎尚文, 鹿間共一, 田中治, 樋口弘志, 中村茂昭

電子情報通信学会論文誌 C-2 J81-C-2(7) 613-618 1998年7月査読有り
Low-Temperature Preparation of ITO films by Dual Ion Beam Sputtering

Yoshifumi Suzaki, Tomokazu Shikama, Osamu Tanaka, Hiroshi Higuchi, Shigeaki Nakamura

Electronics and Communica-tions in Japan Part 2,Vol. 82, No. 5, P.30-35. 82(5) 30-35 1999年5月
イオンビームスパッタリング法によるITO薄膜の低温成膜におけるHeイオン照射効果

須崎嘉文, 鹿間共一, 福井智史, 樋口弘志, 田中治, 梶谷孝啓

精密工学会誌 66(10) 1616-1620 2000年
Effect of He Ion Beam Irradiation on ITO Films Prepared by IBS Method

Yoshifumi SUZAKI, Tomokazu SHIKAMA, Satoshi FUKUI, Hiroshi HIGUCHI, Osamu TANAKA, Takahiro KAJITANI

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 66(10) 1616-1620 2000年
大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜の作製

須崎嘉文, 江島正毅, 鹿間共一, 田中治, 梶谷孝啓, 鯉沼秀臣

日本材料学会誌 51(10) 1160-1163 2002年査読有り
100μm-Diametrical Thin Coaxial Cable for Elecctronics and Mechatronics in Upcoming Information Society

Shigeru Kobayashi, Kazuo Hira, Kimihito Yukawa, Yoshifumi Suzaki, Hidenori Ishihara, Yutaka Mihara, Hayato Miyagawa, Takahito Morita, Yumi Horibe, Tomokazu Shikama

Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Japan 109-114 2004年査読有り
大気圧開放下で発生させた低温プラズマによるZnO薄膜の作製

須崎嘉文, 江島正毅, 中川清, 鹿間共一, 田中治, 梶谷孝啓, 鯉沼秀臣

精密工学会誌 70(7) 994-997 2004年7月査読有り

もっとみる

MISC

水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性

城井智弘, 山本雅史, 長岡史郎, 鹿間共一, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th 2017年
Effect of O2 gas flow rate and RF power on Zinc oxide films made by the atmospheric pressure cold plasma method

鹿間共一

6th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON TECHNOLOGY FOR SUSTAINABILITY, 6 October 2016. 2016年10月
大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去

高井智基, 山本雅史, 鹿間共一, 長岡史郎, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年
水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年
電気系基礎科目における解答の書き方指導の取組みとその効果

雛元洋一, 柿元健, 太良尾浩生, 辻正敏, 重田和弘, 鹿間共一

高専教育 (38) 146-151 2015年4月査読有り
Effect of Past-Annealing on Microstructure of ZnO Thin Films Prepared Using Atmospheric Pressure Cold Plasma

Jinlong Du, Sota Hasegawa, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, YAMAGUCHI Kenzo, SUZAKI Yoshifumi

Plasma Application and Hybrid Functionally Materials 24 72 2015年3月査読有り
酸素を微量添加した水素ラジカルを用いたレジストの除去

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th 2015年
The preparation of ZnO/AZO thin films using atmospheric pressure cold plasma

Tomonori Sakoda, Tomokazu Shikama

NANO-SciTech 2014 & IC-NET 2014 30 2014年3月
組込み技術を通した創造的技術者教育プログラムの構築と実践

中山仁史, 村上幸一, 柿元健, 横内孝史, 鹿間共一, 原囿正博

高専教育 (36) 79-84 2012年3月査読有り
Fabrication of ZnO films Using Atmospheric Pressure Cold Plasma At Various Substrate Temperature

Yoshifumi Suzaki, Akiou Kawaguchi, Takehiko Murase, Koji Yamauchi, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, Gi-Taek Kim, Yoon-Kee Kim

Plasma Application and Hybrid Functionally Materials 20 33-34 2011年
Fabrication of ZnO films using atmospheric cold plasma at various discharge voltages

Gi-Taek Kim, Akiou Kawaguchi, Takehiko Murase, Koji Yamauchi, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, Yoon-Kee Kim, Yoshifumi Suzaki

Plasma Application and Hybrid Functionally Materials 20 85-86 2011年
Fabrication of ZnO Films Using Atmospheric Pressure Cold Plasma at Various Discharge Voltage

Gi-Teak Kim, Akiou Kawaguchi, Takehiko Murase, Koji Yamauchi, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, Yoon-Kee Kim, 須崎嘉文

Frontier of Applied Plasma Technology 4(2) 85-88 2011年
Optical Emission Spectroscopy of Atmospheric Pressure Cold Plasma and Fbrication of ZnO Films

Dong-Bum Shin, Akiou Kawaguchi, Takehiko Murase, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, Yoon-Kee Kim, Yoshifumi Suzaki

Frontier of Applied Plasma Technology 3(2) 126-129 2010年7月査読有り
Effect of RF power on the fabrication of ZnO films using atmospheric pressure cold plasma

Yoshifumi Suzaki, Akiou Kawaguchi, Takehiko Murase, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, Yoon-Kee KIM

Proceeding of the 17th Annual Meeting of IAPS International Workshop 2010, Busan, Korea, pp.15-16.(Plasma Application & Hybrid Functionally Materials, Vol.19 (2010-2)) 15-16 2010年2月
Dependence of Al concentration on Al Doped ZnO Films Prepared by Using Atmospheric Cold Plasma

SUZAKI Yoshifumi, MIYAGAWA Hayato, OBIKA Atsuo, KAWAGUCHI Akiou, SHIKAMA Tomokazu, YUJI Toshifumi

Frontier of Applied Plasma Technology 3(1) 23 2010年
ウェハ上に浮遊微粒子が沈着した半導体デバイスの歩留まりとその予測

樋口弘志, 鹿間共一, 須崎嘉文雄

高松工業高等専門学校研究紀要 (36) 81-86 2001年3月
大気圧コールドプラズマを用いた透明導電性薄膜の作成

須崎嘉文, 鹿間共一, 松本祐司, 鯉沼秀臣

東京工業大学応用セラミックス研究所共同利用研究報告書 1999 85-86 2000年6月30日
大気圧低温プラズマをもちいたプラスチックフィルムの表面処理

鹿間共一

STEPねっとわーく Vol. 6, No. 4, P. 13-15 2000年
大気圧低温プラズマを用いた透明導電性薄膜の作製

須崎嘉文, 鹿間共一

東京工業大学応用セラミックス研究所共同利用研究報告書 1998 66-68 1999年6月30日
Electrical and optical properties of ITO films deposited by excimer Laser assisted EB method

Tetsuo Yano, Toshihiko Ooie, Masafumi Yoneda, Munehide Katsumura, Yoshifumi Suzaki, Tomokazu Shikama

Proceedings of International Symposium on High-Power Lasers and Applications, USA (3618) 418-424 1999年

もっとみる

講演・口頭発表等

理科室で構築する工学教育用半導体デバイス設計製作評価環境

長岡史郎, 山本雅史, 鹿間共一, 清水共, JOHNSTON Robert, 松田和典, 下川房男, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2020年
大気圧低温プラズマより作製したAZO/ZnO/ZnO薄膜の水添加による膜特性の変化

櫻又慎太朗, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2018年9月15日
大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO膜に対する核生成時スイープ速度の影響

岡田修一郎, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017年9月16日
大気圧低温プラズマを用いて作製したAZO/ZnO膜の水添加による特性変化

石原匠, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017年9月16日
水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性

城井智弘, 山本雅史, 長岡史郎, 鹿間共一, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年3月1日
大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去

高井智基, 山本雅史, 鹿間共一, 長岡史郎, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日
水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日
大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜の作製における放電電圧の影響

藤堂卓也, 杜金龍, 杉崎嘉文, 鹿間共一

日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 2016年
大気圧低温プラズマ法により作製したAZO/ZnO2層膜のPL特性

高倉直也, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2015年9月26日
大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO膜の製膜時間高速化の検討

後藤翔一郎, 須崎嘉文, 鹿間共一

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM),11-13 2015年9月26日
大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO 2層膜のPL特性

鹿間共一

平成27年度電気関係学会四国支部連合大会講演論文集，11-4 2015年9月
酸素を微量添加した水素ラジカルを用いたレジストの除去

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2015年8月31日
原子状水素を用いたイオン注入レジストの除去性と硬さ

鹿間共一

第11回Cat-CVD研究会（仙台），41-42（2014）． 2014年12月
大気圧低温プラズマ成膜装置を用いたZnO透明撥水性薄膜の作製

須崎嘉文, 小川一文, 宮川勇人, 鹿間共一

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2014年3月1日
大気圧低温プラズマ法により作製したZnO 薄膜の繰り返し堆積による膜特性の変化Ⅱ

鹿間共一

2012年度 SICE四国支部学術講演会 SO2-12 2012年11月
大気圧低温プラズマ法により作製したZnO薄膜の繰り返し堆積による膜の特性変化

大前知史, 鹿間共一, 須崎嘉文

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2012年9月29日
組込み技術を用いた創造的センサシステム開発教育の改善

中山仁史, 鹿間共一, 向井しのぶ, 稲村潤一, 稲村潤一

電気学会全国大会講演論文集 2012年3月5日
大気圧低温プラズマ法により作製したAZO/ZnO2層膜の特性

宗清修, 須崎嘉文, 鹿間共一

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2012年2月29日
大気圧低温プラズマ法により作製したZnO:Al膜における下地層の効果

奈良卓哉, 鹿間共一, 須崎嘉文

電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2011年9月13日
大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO 2層膜の特性

奈良卓哉,須崎嘉文,鹿間共一

平成23年度電気関係学会四国支部連合大会講演論文集，11-8 2011年9月

もっとみる

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

大気圧低温プラズマの応用

その他の研究制度
大気圧低温プラズマによるプラスチックの表面処理

その他の研究制度
大気圧低温プラズマによる透明導伝性薄膜の作製

その他の研究制度
Surface treatment of plastic films by atmospheric pressure cold plasma

The Other Research Programs
Application of atmospheric pressure cold plasma

The Other Research Programs
Highly transparent conductive thin films preparod by atmospheric pressure cold plasma

The Other Research Programs

鹿間共一

基本情報

研究キーワード

研究分野

学歴

論文

MISC

講演・口頭発表等

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

メニュー

共著者の一覧