論文

査読有り
1992年

スパッタ法により作製したa-SiC:H薄膜中の水素の熱放出

日本金属学会誌
  • 須崎嘉文
    • ,
  • 渡部平司
    • ,
  • 吹田義一
    • ,
  • 鹿間共一
    • ,
  • 芳井熊安
    • ,
  • 川辺秀昭
巻
56
号
9
開始ページ
985
終了ページ
990
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.2320/jinstmet1952.56.9_985
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.2320/jinstmet1952.56.9_985
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:A1992JU00700001&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • DOI : 10.2320/jinstmet1952.56.9_985
  • ISSN : 0021-4876
  • eISSN : 1880-6880
  • Web of Science ID : WOS:A1992JU00700001
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