1991年
窒化チタン膜被覆による大電力高周波セラミック窓のマルチパクタリング放電の抑制「(共著)」
表面技術協会第84回大会講演要旨集、つくば市「工業技術院筑波研究センター共用講堂」11月6〜8日、1991、
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- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）
諫川 秀
イサガワ シゲル (Shigeru Isagawa)
更新日: 01/31