2016年4月 - 2019年3月
3Dプリンティングによる半導体微細多結晶の直接製作
日本学術振興会 科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究 挑戦的萌芽研究
半導体微細多結晶の3Dプリンティングに必要な融液射出部の試作および微小融液の形成と射出のための条件探索を行った。ガリンスタン、ビスマスを用いた予備検討を経て、ビスマス・アンチモン合金での造形に成功した。そして、造形物の熱電特性・組成・粒径分布の計測を行ったが、強磁場中で一方向凝固により育成したバルク結晶に比べて優れた特性は得られなかった。その原因として、融液中のアンチモン濃度の経時変化、液滴の射出量や射出速度・融液温度のばらつきによる凝固速度の違いが考えられた。ミクロンオーダーの高温微小液滴を安定して生成することが今後の大きな技術的課題であることが再認識された。
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- 課題番号 : 16K14238
- 体系的番号 : JP16K14238